GX600

Ekipman dikey ön kapı yapısını ve küme düzenini benimser. Metaller ve çeşitli organik maddeler için buharlaştırma kaynaklarıyla donatılabilir ve çeşitli özelliklerde silikon gofretleri buharlaştırabilir. Hassas hizalama sistemiyle donatılmış olan kaplama stabildir ve kaplama iyi tekrarlanabilirliğe sahiptir.
GX600 kaplama ekipmanı, organik ışık yayan malzemeleri veya metal malzemeleri alt tabakaya doğru, eşit ve kontrol edilebilir bir şekilde buharlaştırabilir. Basit film oluşumu, yüksek saflık ve yüksek kompaktlık avantajlarına sahiptir. Tam otomatik film kalınlığı gerçek zamanlı izleme sistemi, sürecin tekrarlanabilirliğini ve kararlılığını sağlayabilir. Operatörün becerilerine olan bağımlılığı azaltmak için kendi kendine erime işleviyle donatılmıştır.
Ekipman Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti ve diğer metal malzemelere uygulanabilir ve metal film, dielektrik katman filmi, IMD filmi vb. ile kaplanabilir. Esas olarak güç cihazları, yarı iletken arka paketleme alt tabaka kaplaması vb. gibi yarı iletken endüstrisinde kullanılır.