Güýçlendirilen ýalpyldawuk boşaltma ion örtük tehnologiýasynyň umumy aýratynlyklary

1. Iş böleginiň egriligi pes

Ionlaşma tizligini ýokarlandyrmak üçin enjamyň goşulmagy sebäpli boşalma togunyň dykyzlygy ýokarlanýar we egrilik naprýaženiýesi 0,5 ~ 1 kV çenli peselýär.

Ýokary energiýaly ionlaryň aşa köp bombardman edilmegi netijesinde ýüze çykýan yzyna çüwdürilme we iş böleginiň ýüzüne zyýan täsiri azaldylýar.

2. Plazma dykyzlygynyň ýokarlanmagy

Çaknyşyk ionlaşmasyny höweslendirmek üçin dürli çäreler goşuldy we metal ionlaşma tizligi 3% -den 15% -den gowrak ýokarlandy. Örtük kamerasyndaky çöp ionlarynyň we ýokary energiýaly neýtral atomlaryň, azot ionlarynyň, ýokary energiýaly aktiw atomlaryň we aktiw toparlaryň dykyzlygy ýokarlandy, bu bolsa birleşmeleri emele getirmek üçin reaksiýa üçin amatlydyr. Ýokardaky dürli güýçlendirilen ýalpyldawuk boşadyş ion örtük tehnologiýalary ýokary plazma dykyzlygynda reaksiýa çökündisi arkaly TN gaty plýonka gatlaklaryny almaga mümkinçilik berdi, ýöne olar ýalpyldawuk boşadyş görnüşine degişli bolany üçin boşadyş tok dykyzlygy ýeterlik derejede ýokary däl (henüz mA/sm2 derejesi) we umumy plazma dykyzlygy ýeterlik derejede ýokary däl we reaksiýa çökündisi birleşme örtügini örtmek prosesi kyn.

3. Nokatly bugaryş çeşmesiniň örtük diapazony kiçi

Dürli güýçlendirilen ion örtük tehnologiýalary elektron şöhlesiniň buharlanma çeşmelerini we gantuny nokatly buharlanma çeşmesi hökmünde ulanýar, ol bolsa reaksiýa çökündisi üçin gantudan ýokarda belli bir aralyk bilen çäklendirilýär, şonuň üçin öndürijilik pes, proses kyn we ony senagatlaşdyrmak kyn.

4. Elektron tüpeňiň ýokary basyşly işlemegi

Elektron tabanjasynyň naprýaženiýesi 6 ~ 30 kV, iş böleginiň gyşarnyk naprýaženiýesi bolsa 0,5 ~ 3 kV bolup, bu ýokary naprýaženiýeli işleme degişlidir we belli bir howpsuzlyk howplaryna eýedir.

——Bu makala Guangdong Zhenhua Technology tarapyndan çap edildioptiki örtük maşynlaryny öndüriji.