1. El sesgo de la pieza de trabajo es bajo.
Debido a la incorporación de un dispositivo para aumentar la tasa de ionización, la densidad de corriente de descarga aumenta y la tensión de polarización se reduce a 0,5~1 kV.
Se reduce la retropulverización causada por el bombardeo excesivo de iones de alta energía y el daño que produce en la superficie de la pieza de trabajo.
2. Aumento de la densidad plasmática
Se han añadido diversas medidas para promover la ionización por colisión, y la tasa de ionización del metal ha aumentado del 3% a más del 15%. La densidad de iones chin y átomos neutros de alta energía, iones de nitrógeno, átomos activos de alta energía y grupos activos en la cámara de recubrimiento se incrementa, lo que favorece la reacción para formar compuestos. Las diversas tecnologías de recubrimiento iónico por descarga luminiscente mejorada mencionadas anteriormente han logrado obtener capas de película dura de TN mediante deposición reactiva a densidades de plasma más altas, pero debido a que pertenecen al tipo de descarga luminiscente, la densidad de corriente de descarga no es lo suficientemente alta (aún del nivel de mA/cm2), y la densidad de plasma general no es lo suficientemente alta, y el proceso de recubrimiento compuesto por deposición reactiva es difícil.
3. El rango de recubrimiento de la fuente de evaporación puntual es pequeño.
Diversas tecnologías mejoradas de recubrimiento iónico utilizan fuentes de evaporación por haz de electrones y Gantu como fuente de evaporación puntual, lo que limita la deposición reactiva a un cierto intervalo por encima de Gantu, por lo que la productividad es baja, el proceso es difícil y es difícil de industrializar.
4. Funcionamiento de alta presión de la pistola electrónica
El voltaje del cañón de electrones es de 6 a 30 kV, y el voltaje de polarización de la pieza de trabajo es de 0,5 a 3 kV, lo que corresponde a una operación de alto voltaje y conlleva ciertos riesgos de seguridad.
—Este artículo fue publicado por Guangdong Zhenhua Technology, unafabricante de máquinas de recubrimiento óptico.
Fecha de publicación: 12 de mayo de 2023