1. பணிப்பொருள் சாய்வு குறைவாக உள்ளது
அயனியாக்க விகிதத்தை அதிகரிக்கும் ஒரு சாதனம் சேர்க்கப்பட்டதன் காரணமாக, வெளியேற்ற மின்னோட்ட அடர்த்தி அதிகரித்து, சார்பு மின்னழுத்தம் 0.5~1kV ஆகக் குறைக்கப்படுகிறது.
உயர் ஆற்றல் அயனிகளின் அதீதத் தாக்குதலால் ஏற்படும் பின்சிதறலும், வேலைப் பொருளின் மேற்பரப்பில் ஏற்படும் சேத விளைவும் குறைக்கப்படுகின்றன.
2. அதிகரித்த பிளாஸ்மா அடர்த்தி
மோதல் அயனியாக்கத்தை ஊக்குவிப்பதற்கான பல்வேறு நடவடிக்கைகள் சேர்க்கப்பட்டுள்ளதால், உலோக அயனியாக்க விகிதம் 3%-இலிருந்து 15%-க்கும் மேலாக அதிகரித்துள்ளது. பூச்சு அறையில் உள்ள சின் அயனிகள், உயர் ஆற்றல் நடுநிலை அணுக்கள், நைட்ரஜன் அயனிகள், உயர் ஆற்றல் வினைபுரியும் அணுக்கள் மற்றும் வினைபுரியும் தொகுதிகளின் அடர்த்தி அதிகரிக்கப்பட்டுள்ளது, இது சேர்மங்களை உருவாக்கும் வினைக்கு உகந்ததாக உள்ளது. மேற்கூறிய பல்வேறு மேம்படுத்தப்பட்ட ஒளிர்வு வெளியேற்ற அயனிப் பூச்சுத் தொழில்நுட்பங்கள், அதிக பிளாஸ்மா அடர்த்திகளில் வினைப் படிவு மூலம் TN கடினப் படல அடுக்குகளைப் பெற முடிந்துள்ளது. ஆனால், அவை ஒளிர்வு வெளியேற்ற வகையைச் சேர்ந்தவை என்பதால், வெளியேற்ற மின்னோட்ட அடர்த்தி போதுமான அளவு அதிகமாக இல்லை (இன்னும் mA/cm² அளவில் உள்ளது), மற்றும் ஒட்டுமொத்த பிளாஸ்மா அடர்த்தியும் போதுமான அளவு அதிகமாக இல்லை, இதனால் வினைப் படிவு சேர்மப் பூச்சு செயல்முறை கடினமாக உள்ளது.
3. புள்ளி ஆவியாதல் மூலத்தின் பூச்சு வரம்பு சிறியது.
பல்வேறு மேம்படுத்தப்பட்ட அயனிப் பூச்சுத் தொழில்நுட்பங்கள், எலக்ட்ரான் கற்றை ஆவியாக்க மூலங்களையும், புள்ளி ஆவியாக்க மூலமாக காண்டுவையும் பயன்படுத்துகின்றன. ஆனால், வினைப் படிவுக்காக காண்டுவிற்கு மேலே ஒரு குறிப்பிட்ட கால இடைவெளி மட்டுமே வரையறுக்கப்பட்டுள்ளதால், உற்பத்தித்திறன் குறைவாகவும், செயல்முறை கடினமாகவும், தொழில்மயமாக்குவது சிரமமாகவும் உள்ளது.
4. மின்னணு துப்பாக்கியின் உயர் அழுத்த செயல்பாடு
எலக்ட்ரான் துப்பாக்கியின் மின்னழுத்தம் 6 முதல் 30 kV வரையிலும், பணிப்பொருளின் சார்பு மின்னழுத்தம் 0.5 முதல் 3 kV வரையிலும் உள்ளது. இது உயர் மின்னழுத்தச் செயல்பாட்டு வகையைச் சார்ந்தது மற்றும் இதில் சில பாதுகாப்பு அபாயங்கள் உள்ளன.
இந்தக் கட்டுரை குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா டெக்னாலஜி என்ற நிறுவனத்தால் வெளியிடப்பட்டது.ஒளியியல் பூச்சு இயந்திரங்களின் உற்பத்தியாளர்.
பதிவிட்ட நேரம்: மே-12-2023