1. பணிப்பகுதி சார்பு குறைவாக உள்ளது
அயனியாக்கம் விகிதத்தை அதிகரிக்க ஒரு சாதனத்தைச் சேர்ப்பதால், வெளியேற்ற மின்னோட்ட அடர்த்தி அதிகரிக்கிறது, மற்றும் சார்பு மின்னழுத்தம் 0.5~1kV ஆக குறைக்கப்படுகிறது.
உயர்-ஆற்றல் அயனிகளின் அதிகப்படியான குண்டுவீச்சு மற்றும் பணியிடத்தின் மேற்பரப்பில் ஏற்படும் சேத விளைவு ஆகியவற்றால் ஏற்படும் பேக்ஸ்புட்டரிங் குறைக்கப்படுகிறது.
2. அதிகரித்த பிளாஸ்மா அடர்த்தி
மோதல் அயனியாக்கத்தை ஊக்குவிக்க பல்வேறு நடவடிக்கைகள் சேர்க்கப்பட்டுள்ளன, மேலும் உலோக அயனியாக்கம் விகிதம் 3% இலிருந்து 15% க்கும் அதிகமாக அதிகரித்துள்ளது.பூச்சு அறையில் உள்ள கன்னம் அயனிகள் மற்றும் உயர் ஆற்றல் நடுநிலை அணுக்கள், நைட்ரஜன் அயனிகள், உயர் ஆற்றல் செயலில் அணுக்கள் மற்றும் செயலில் உள்ள குழுக்களின் அடர்த்தி அதிகரிக்கிறது, இது கலவைகளை உருவாக்குவதற்கான எதிர்வினைக்கு சாதகமானது.மேலே உள்ள பல்வேறு மேம்படுத்தப்பட்ட பளபளப்பு அயனி பூச்சு தொழில்நுட்பங்கள் அதிக பிளாஸ்மா அடர்த்தியில் எதிர்வினை படிவு மூலம் TN கடின பட அடுக்குகளைப் பெற முடிந்தது, ஆனால் அவை பளபளப்பான வெளியேற்ற வகையைச் சேர்ந்தவை என்பதால், வெளியேற்ற மின்னோட்ட அடர்த்தி போதுமானதாக இல்லை (இன்னும் mA/cm2 நிலை ), மற்றும் ஒட்டுமொத்த பிளாஸ்மா அடர்த்தி போதுமான அளவு அதிகமாக இல்லை, மேலும் எதிர்வினை படிவு கலவை பூச்சு செயல்முறை கடினமாக உள்ளது.
3. புள்ளி ஆவியாதல் மூலத்தின் பூச்சு வரம்பு சிறியது
பல்வேறு மேம்படுத்தப்பட்ட அயனி பூச்சு தொழில்நுட்பங்கள் எலக்ட்ரான் கற்றை ஆவியாதல் மூலங்களைப் பயன்படுத்துகின்றன, மேலும் கான்டுவை ஒரு புள்ளி ஆவியாதல் மூலமாகப் பயன்படுத்துகின்றன, இது எதிர்வினை படிவுக்காக காண்டுவுக்கு மேலே ஒரு குறிப்பிட்ட இடைவெளியில் வரையறுக்கப்பட்டுள்ளது, எனவே உற்பத்தித்திறன் குறைவாக உள்ளது, செயல்முறை கடினமாக உள்ளது மற்றும் தொழில்மயமாக்குவது கடினம்.
4. எலக்ட்ரானிக் துப்பாக்கி உயர் அழுத்த செயல்பாடு
எலக்ட்ரான் துப்பாக்கி மின்னழுத்தம் 6~30kV, மற்றும் பணிப்பகுதி சார்பு மின்னழுத்தம் 0.5~3kV ஆகும், இது உயர் மின்னழுத்த செயல்பாட்டிற்கு சொந்தமானது மற்றும் சில பாதுகாப்பு அபாயங்களைக் கொண்டுள்ளது.
——இந்தக் கட்டுரை குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா தொழில்நுட்பத்தால் வெளியிடப்பட்டது, ஏஆப்டிகல் பூச்சு இயந்திரங்களின் உற்பத்தியாளர்.
இடுகை நேரம்: மே-12-2023