1. Pristranskost obdelovanca je nizka
Zaradi dodatka naprave za povečanje stopnje ionizacije se gostota toka praznjenja poveča, prednapetost pa se zmanjša na 0,5~1kV.
Povratno naprševanje, ki ga povzroča prekomerno obstreljevanje visokoenergijskih ionov, in učinek poškodb na površini obdelovanca sta zmanjšana.
2. Povečana gostota plazme
Dodani so bili različni ukrepi za spodbujanje trčne ionizacije, stopnja ionizacije kovin pa se je povečala s 3 % na več kot 15 %.Gostota bradnih ionov in visokoenergijskih nevtralnih atomov, dušikovih ionov, visokoenergijskih aktivnih atomov in aktivnih skupin v komori za prevleko se poveča, kar vodi k reakciji za tvorbo spojin.Zgornjimi različnimi izboljšanimi tehnologijami ionske prevleke z žarečo razelektritvijo je bilo mogoče pridobiti plasti trdega filma TN z reakcijskim nanašanjem pri višjih gostotah plazme, a ker pripadajo vrsti žareče razelektritve, gostota toka razelektritve ni dovolj visoka (še vedno raven mA/cm2 ), skupna gostota plazme pa ni dovolj visoka, postopek nanosa reakcijske spojine pa je težak.
3. Obseg prevleke točkovnega vira izhlapevanja je majhen
Različne izboljšane tehnologije ionske prevleke uporabljajo vire izhlapevanja z elektronskim žarkom in gantu kot točkovni vir izhlapevanja, ki je omejen na določen interval nad gantu za reakcijsko nanašanje, zato je produktivnost nizka, postopek je težaven in ga je težko industrializirati.
4. Visokotlačno delovanje elektronske pištole
Napetost elektronske pištole je 6 ~ 30 kV, prednapetost obdelovanca pa 0,5 ~ 3 kV, kar spada v visokonapetostno delovanje in ima določene varnostne nevarnosti.
——Ta članek je izdal Guangdong Zhenhua Technology, aproizvajalec strojev za optične premaze.
Čas objave: 12. maj 2023