1. E maualalo le fa'aituau o mea faigaluega
Ona o le faʻaopoopoga o se masini e faʻateleina ai le fua o le ionization, ua faʻatuputeleina le maualuga o le taimi nei, ma ua faʻaititia le voltage faʻaituau i le 0.5 ~ 1kV.
O le backsputtering e mafua mai i le soona pomu o ion maualuga-malosi ma aafiaga leaga i luga o le mea faigaluega ua faaitiitia.
2. Faʻateleina plasma density
O auala eseese e faʻaleleia ai le faʻalavelave faʻafuaseʻi ua faʻaopoopoina, ma ua faʻateleina le fua o le ionization uamea mai le 3% i le sili atu i le 15%.O le density o ions auvae ma maualuga-malosi atoms neutral, nitrogen ions, maualuga-malosi atoms malosi ma vaega galulue i totonu o le potu faʻapipiʻi ua faateleina, lea e conducive i le tali e fausia tuufaatasiga.O loʻo i luga o loʻo i luga o loʻo i luga o loʻo i luga o loʻo i luga o le tele o faʻalauteleina o le faʻaleleia o le susulu o le ion coating tekinolosi ua mafai ona maua TN ata tifaga e ala i le tuʻuina atu i luga o le plasma densities maualuga, ae ona o latou e aofia ai i le ituaiga faʻavevelaina o le susulu, e le lava le maualuga o le maualuga o le taimi nei (ma mA / cm2 maualuga. ), ma le maualuga o le plasma density e le lava le maualuga, ma o le faagasologa o le faʻaogaina o le faʻapipiʻiina o le faʻapipiʻiina e faigata.
3. E laʻititi le faʻapipiʻiina o le mea e faʻafefe ai le mata
Fa'atekonolosi fa'alava ion fa'aleleia le fa'aogaina o puna fa'asao eletise, ma le gantu e fai ma fa'apogai o le mata'upu, lea e fa'atapula'aina i se vaeluaga i luga a'e o le gantu mo le fa'aputuina o tali, o lea e maualalo ai le gaosiga, e faigata le faagasologa, ma e faigata ona fa'aulufaleina.
4. Fa'aeletonika fana maualuga-omiga gaioiga
O le eletise eletise eletise o le 6 ~ 30kV, ma o le mea faigaluega faʻaituau voltage o le 0.5 ~ 3kV, lea e patino i le maualuga-voltage faʻagaioiga ma e iai ni lamatiaga saogalemu.
——O lenei tusiga na tatalaina e Guangdong Zhenhua Technology, agaosiga o masini fa'apipi'i mata.
Taimi meli: Me-12-2023