O uiga masani o le tekinolosi fa'aleleia o le fa'amama o le ion coating

1. E maualalo le fa'aituau o le workpiece

Ona o le faʻaopoopoina o se masini e faʻateleina ai le fua faatatau o le ionization, ua faʻateleina ai le mamafa o le tafe o le eletise, ma ua faʻaitiitia ai le voltage faʻaituau i le 0.5 ~ 1kV.

Ua fa'aitiitia le backsputtering e mafua mai i le so'ona fa'apapāpā o ions malolosi ma le a'afiaga o le fa'aleagaina i luga o le fogā'ele'ele o le workpiece.

2. Fa'ateleina le mafiafia o le plasma

Ua fa'aopoopoina ni auala eseese e fa'alauiloa ai le fa'a'a'aina o le feto'ai, ma ua si'itia le fua fa'atatau o le fa'a'aina o le u'amea mai le 3% i le sili atu i le 15%. Ua fa'ateleina le mafiafia o ions o le auvae ma atoms neutral e maualuga le malosi, ions o le nitrogen, atoms active e maualuga le malosi ma vaega active i totonu o le potu ufiufi, lea e fesoasoani i le tali atu e fausia ai ni mea fa'afefiloi. O tekinolosi ufiufi ion glow discharge eseese ua fa'aleleia atili ua mafai ona maua ni vaega o le TN hard film e ala i le reaction deposition i le plasma densities maualuga, ae ona o lo'o i ai i latou i le ituaiga glow discharge, e le lava le maualuga o le discharge current density (o lo'o iai pea le mA/cm2), ma e le lava le maualuga o le plasma density atoa, ma e faigata le faiga o le ufiufi o le compound deposition reaction.

3. E la'ititi le lautele o le ufiufi o le puna o le fa'amamago

O le tele o tekinolosi fa'aleleia atili o le ufiufi o le ion e fa'aaogaina ai punaoa o le fa'amamago o le ave eletise, ma le gantu o se punaoa o le fa'amamago, lea e fa'atapula'aina i se vaitaimi patino i luga a'e o le gantu mo le fa'aputuina o le tali atu, o lea e maualalo ai le gaosiga, faigata le fa'agasologa, ma faigata ona fa'apisinisi.

4. Fa'agaioiga maualuga o le mamafa o fana eletise

O le voltage o le fana eletise e 6 ~ 30kV, ma o le voltage fa'aituau o le workpiece e 0.5 ~ 3kV, lea e patino i le fa'agaioiga maualuga-voltage ma e iai ni tulaga lamatia i le saogalemu.

——O lenei tusiga na faʻasalalauina e le Guangdong Zhenhua Technology, o segaosi oloa o masini ufiufi opitika.