Zajedničke značajke poboljšane tehnologije ionskog premaza s tinjajućim pražnjenjem

1. Prednagib obratka je nizak

Zbog dodavanja uređaja za povećanje brzine ionizacije, gustoća struje pražnjenja se povećava, a prednapon se smanjuje na 0,5~1kV.

Povratno raspršivanje uzrokovano prekomjernim bombardiranjem ionima visoke energije i učinak oštećenja na površini obratka su smanjeni.

2. Povećana gustoća plazme

Dodane su razne mjere za promicanje ionizacije pri sudaru, a stopa ionizacije metala porasla je s 3% na više od 15%.Povećava se gustoća chin iona i visokoenergetskih neutralnih atoma, dušikovih iona, visokoenergetskih aktivnih atoma i aktivnih skupina u komori za oblaganje, što pogoduje reakciji stvaranja spojeva.Gore navedene razne poboljšane tehnologije ionskog premaza s tinjajućim pražnjenjem uspjele su dobiti TN slojeve tvrdog filma reakcijskim taloženjem pri višim gustoćama plazme, ali budući da pripadaju vrsti tinjajućeg pražnjenja, gustoća struje pražnjenja nije dovoljno visoka (još uvijek razina mA/cm2 ), a ukupna gustoća plazme nije dovoljno visoka, a proces reakcijskog taloženja spoja je težak.

3. Raspon premaza točkastog izvora isparavanja je mali

Razne poboljšane tehnologije ionskog premazivanja koriste izvore isparavanja elektronskim snopom i gantu kao točkasti izvor isparavanja, koji je ograničen na određeni interval iznad gantua za reakcijsko taloženje, tako da je produktivnost niska, proces je težak i teško ga je industrijalizirati.

4. Visokotlačni rad elektronskog pištolja

Napon elektronskog topa je 6 ~ 30 kV, a prednapon obratka je 0,5 ~ 3 kV, što pripada visokonaponskom radu i nosi određene sigurnosne opasnosti.

——Ovaj je članak objavio Guangdong Zhenhua Technology, aproizvođač strojeva za optičko premazivanje.