លក្ខណៈទូទៅនៃបច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងបញ្ចេញពន្លឺដែលប្រសើរឡើង

1. ភាពលំអៀងនៃ workpiece គឺទាប

ដោយសារតែការបន្ថែមឧបករណ៍ដើម្បីបង្កើនអត្រាអ៊ីយ៉ូដ ដង់ស៊ីតេចរន្តបញ្ចេញត្រូវបានកើនឡើង ហើយវ៉ុលលំអៀងត្រូវបានកាត់បន្ថយមកត្រឹម 0.5 ~ 1kV ។

ការ backsputtering ដែលបណ្តាលមកពីការទម្លាក់គ្រាប់បែកច្រើនពេកនៃអ៊ីយ៉ុងថាមពលខ្ពស់ និងឥទ្ធិពលនៃការខូចខាតលើផ្ទៃ workpiece ត្រូវបានកាត់បន្ថយ។

2. ដង់ស៊ីតេប្លាស្មាកើនឡើង

វិធានការផ្សេងៗដើម្បីលើកកម្ពស់អ៊ីយ៉ូដនៃការប៉ះទង្គិចត្រូវបានបន្ថែម ហើយអត្រាអ៊ីយ៉ូដនៃលោហៈបានកើនឡើងពី 3% ទៅច្រើនជាង 15%។ដង់ស៊ីតេនៃអ៊ីយ៉ុងចង្កា និងអាតូមអព្យាក្រឹតថាមពលខ្ពស់ អ៊ីយ៉ុងអាសូត អាតូមសកម្មថាមពលខ្ពស់ និងក្រុមសកម្មនៅក្នុងបន្ទប់ថ្នាំកូតត្រូវបានកើនឡើង ដែលអំណោយផលដល់ប្រតិកម្មបង្កើតសមាសធាតុ។បច្ចេកវិជ្ជាថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងបញ្ចេញពន្លឺដែលត្រូវបានកែលម្អជាច្រើនខាងលើអាចទទួលបានស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តរឹង TN ដោយការទម្លាក់ប្រតិកម្មនៅដង់ស៊ីតេប្លាស្មាខ្ពស់ជាង ប៉ុន្តែដោយសារពួកវាជាកម្មសិទ្ធិរបស់ប្រភេទការបញ្ចេញពន្លឺ ដង់ស៊ីតេចរន្តបញ្ចេញមិនខ្ពស់គ្រប់គ្រាន់ទេ (នៅតែកម្រិត mA/cm2 ) ហើយដង់ស៊ីតេប្លាស្មាទាំងមូលមិនខ្ពស់គ្រប់គ្រាន់ទេ ហើយដំណើរការនៃការស្រោបសមាសធាតុនៃស្រទាប់ប្រតិកម្មគឺពិបាកណាស់។

3. ជួរថ្នាំកូតនៃប្រភពហួតចំណុចគឺតូច

បច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងដែលត្រូវបានកែលម្អផ្សេងៗប្រើប្រាស់ប្រភពរំហួតរបស់ធ្នឹមអេឡិចត្រុង ហើយ gantu ជាប្រភពហួតចំណុច ដែលត្រូវបានកំណត់ត្រឹមចន្លោះពេលជាក់លាក់មួយពីលើ gantu សម្រាប់ការបញ្ចេញប្រតិកម្ម ដូច្នេះផលិតភាពមានកម្រិតទាប ដំណើរការពិបាក ហើយពិបាកក្នុងការធ្វើឧស្សាហកម្ម។

4. កាំភ្លើងអេឡិចត្រូនិច ប្រតិបត្តិការសម្ពាធខ្ពស់។

វ៉ុលកាំភ្លើងអេឡិចត្រុងគឺ 6 ~ 30kV ហើយវ៉ុលលំអៀងនៃ workpiece គឺ 0.5 ~ 3kV ដែលជាកម្មសិទ្ធិរបស់ប្រតិបត្តិការវ៉ុលខ្ពស់និងមានគ្រោះថ្នាក់សុវត្ថិភាពជាក់លាក់។

—— អត្ថបទនេះត្រូវបានចេញផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុន Guangdong Zhenhua Technology, aក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនស្រោបអុបទិក.