1. İş parçasının qərəzi aşağıdır
İonlaşma sürətini artırmaq üçün bir cihazın əlavə edilməsi səbəbindən boşalma cərəyanının sıxlığı artır və qərəz gərginliyi 0,5 ~ 1 kV-a endirilir.
Yüksək enerjili ionların həddindən artıq bombardman edilməsi nəticəsində yaranan əks püskürmə və iş parçasının səthinə zərər təsiri azalır.
2. Plazma sıxlığının artması
Toqquşma ionlaşmasını təşviq etmək üçün müxtəlif tədbirlər əlavə edildi və metal ionlaşma sürəti 3%-dən 15%-dən çoxa qədər artdı. Örtük kamerasında çin ionlarının və yüksək enerjili neytral atomların, azot ionlarının, yüksək enerjili aktiv atomların və aktiv qrupların sıxlığı artır ki, bu da birləşmələr əmələ gətirmək üçün reaksiyaya əlverişlidir. Yuxarıda göstərilən müxtəlif gücləndirilmiş parıltılı boşaltma ion örtük texnologiyaları daha yüksək plazma sıxlığında reaksiya çöküntüsü ilə TN sərt təbəqə təbəqələri əldə edə bilmişdir, lakin onlar parıltılı boşaltma növünə aid olduqları üçün boşaltma cərəyanının sıxlığı kifayət qədər yüksək deyil (hələ də mA/sm2 səviyyəsində) və ümumi plazma sıxlığı kifayət qədər yüksək deyil və reaksiya çöküntüsü birləşməsinin örtülməsi prosesi çətindir.
3. Nöqtəli buxarlanma mənbəyinin örtük diapazonu kiçikdir
Müxtəlif gücləndirilmiş ion örtük texnologiyaları elektron şüası buxarlanma mənbələrindən və nöqtəvi buxarlanma mənbəyi kimi gantudan istifadə edir ki, bu da reaksiya çökməsi üçün gantudan yuxarı müəyyən bir intervalla məhdudlaşır, buna görə də məhsuldarlıq aşağı, proses çətindir və sənayeləşdirmək çətindir.
4. Elektron silahın yüksək təzyiqli işləməsi
Elektron silah gərginliyi 6 ~ 30 kV, iş parçasının qərəzli gərginliyi isə 0,5 ~ 3 kV-dir ki, bu da yüksək gərginlikli işləməyə aiddir və müəyyən təhlükəsizlik təhlükələrinə malikdir.
——Bu məqalə Guangdong Zhenhua Technology tərəfindən dərc ediliboptik örtük maşınları istehsalçısı.
Yayımlanma vaxtı: 12 may 2023