1. Arbeidsstykkets forspenning er lav
På grunn av tillegget av en enhet for å øke ioniseringshastigheten, økes utladningsstrømtettheten, og forspenningen reduseres til 0,5 ~ 1kV.
Tilbakesputting forårsaket av overdreven bombardement av høyenergiioner og skadevirkningen på arbeidsstykkets overflate reduseres.
2. Økt plasmatetthet
Ulike tiltak for å fremme kollisjons-ionisering er lagt til, og metallioniseringsraten har økt fra 3 % til mer enn 15 %.Tettheten av hakeioner og nøytrale atomer med høy energi, nitrogenioner, aktive atomer med høy energi og aktive grupper i belegningskammeret økes, noe som bidrar til reaksjonen for å danne forbindelser.Ovennevnte forskjellige forbedrede glødutladningsionbeleggsteknologier har vært i stand til å oppnå TN-harde filmlag ved reaksjonsavsetning ved høyere plasmatettheter, men fordi de tilhører glødutladningstypen, er ikke utladningsstrømtettheten høy nok (fortsatt mA/cm2-nivå ), og den totale plasmatettheten er ikke høy nok, og prosessen med reaksjonsavsetningsforbindelsesbelegg er vanskelig.
3. Beleggområdet til punktfordampningskilden er lite
Ulike forbedrede ionebeleggsteknologier bruker elektronstrålefordampningskilder, og gantu som en punktfordampningskilde, som er begrenset til et visst intervall over gantu for reaksjonsavsetning, så produktiviteten er lav, prosessen er vanskelig og det er vanskelig å industrialisere.
4. Elektronisk pistol høytrykksdrift
Elektronkanonspenningen er 6~30kV, og arbeidsstykkets forspenning er 0,5~3kV, som tilhører høyspentdrift og har visse sikkerhetsfarer.
——Denne artikkelen ble utgitt av Guangdong Zhenhua Technology, aprodusent av optiske belegningsmaskiner.
Innleggstid: 12. mai 2023