1. Жумушчу бөлүктүн бир жактуулугу төмөн
Иондоштуруу ылдамдыгын жогорулатуучу түзүлүштүн кошулушунан улам, разряд тогунун тыгыздыгы жогорулайт жана бир жактуу чыңалуу 0,5 ~ 1 кВ чейин төмөндөйт.
Жогорку энергиялуу иондордун ашыкча бомбаланышынан улам пайда болгон тескери чачыратуу жана жумушчу бөлүктүн бетине келтирилген зыян азаят.
2. Плазманын тыгыздыгынын жогорулашы
Кагылышуу иондоштуруусун күчөтүү үчүн ар кандай чаралар кошулуп, металлдын иондоштуруу ылдамдыгы 3% дан 15% дан ашыкка чейин жогорулады. Каптоо камерасындагы иондордун жана жогорку энергиялуу нейтралдуу атомдордун, азот иондорунун, жогорку энергиялуу активдүү атомдордун жана активдүү топтордун тыгыздыгы жогорулады, бул кошулмаларды пайда кылуу реакциясына өбөлгө түзөт. Жогорудагы ар кандай күчөтүлгөн жаркыроо разряддоо иондук каптоо технологиялары жогорку плазма тыгыздыгында реакциялык чөктүрүү аркылуу TN катуу пленка катмарларын алууга мүмкүндүк берди, бирок алар жаркыроо разряддоо түрүнө киргендиктен, разряддоо тогунун тыгыздыгы жетиштүү деңгээлде жогору эмес (дагы эле мА/см2 деңгээлинде) жана жалпы плазма тыгыздыгы жетиштүү деңгээлде жогору эмес жана реакциялык чөктүрүү кошулмасын каптоо процесси кыйын.
3. Чекиттик буулануу булагынын каптоо диапазону кичинекей
Ар кандай күчөтүлгөн иондук каптоо технологиялары электрондук нурдун буулануу булактарын, ал эми ганту чекиттик буулануу булагы катары колдонулат, ал реакциянын чөктүрүлүшү үчүн гантудан жогору белгилүү бир аралык менен чектелген, ошондуктан өндүрүмдүүлүк төмөн, процесс татаал жана аны өнөр жайлаштыруу кыйын.
4. Электрондук куралдын жогорку басымдагы иштеши
Электрондук куралдын чыңалуусу 6 ~ 30 кВ, ал эми жумуш бөлүгүнүн бир тараптуу чыңалуусу 0,5 ~ 3 кВ, бул жогорку чыңалуудагы иштөөгө тиешелүү жана белгилүү бир коопсуздук коркунучтарына ээ.
——Бул макала Guangdong Zhenhua Technology тарабынан жарыяланганоптикалык каптоо машиналарын өндүрүүчү.
Жарыяланган убактысы: 2023-жылдын 12-майы