1. ୱାର୍କସ୍ପିସ୍ ପକ୍ଷପାତ କମ୍ ଅଟେ |
ଆୟନାଇଜେସନ୍ ହାର ବ to ାଇବା ପାଇଁ ଏକ ଉପକରଣର ଯୋଗ ହେତୁ, ଡିସଚାର୍ଜ କରେଣ୍ଟ୍ ସାନ୍ଦ୍ରତା ବୃଦ୍ଧି ପାଇଥାଏ ଏବଂ ବାୟା ଭୋଲଟେଜ୍ 0.5 ~ 1kV କୁ କମିଯାଏ |
ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି ଆୟନର ଅତ୍ୟଧିକ ବିସ୍ଫୋରଣ ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷେତ୍ରରେ କ୍ଷୟକ୍ଷତିର ପ୍ରଭାବ ହ୍ରାସ ପାଇଥାଏ |
2. ପ୍ଲାଜ୍ମା ଘନତା ବୃଦ୍ଧି |
ଧକ୍କା ଆୟନାଇଜେସନ୍ କୁ ପ୍ରୋତ୍ସାହିତ କରିବା ପାଇଁ ବିଭିନ୍ନ ପଦକ୍ଷେପ ଯୋଗ କରାଯାଇଛି ଏବଂ ଧାତୁ ଆୟନାଇଜେସନ୍ ହାର 3% ରୁ 15% ରୁ ବୃଦ୍ଧି ପାଇଛି |ଚିନ୍ ଆୟନ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ଶକ୍ତି ନିରପେକ୍ଷ ପରମାଣୁ, ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଆୟନ, ଉଚ୍ଚ ଶକ୍ତି ସକ୍ରିୟ ପରମାଣୁ ଏବଂ ଆବରଣ ପ୍ରକୋଷ୍ଠରେ ସକ୍ରିୟ ଗୋଷ୍ଠୀର ଘନତା ବୃଦ୍ଧି ପାଇଥାଏ, ଯାହା ଯ ounds ଗିକ ସୃଷ୍ଟି ପାଇଁ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାରେ ସହାୟକ ହୋଇଥାଏ |ଉପରୋକ୍ତ ବିଭିନ୍ନ ବର୍ଦ୍ଧିତ ଗ୍ଲୋ ଡିସଚାର୍ଜ ଆୟନ ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଅଧିକ ପ୍ଲାଜମା ସାନ୍ଧ୍ରତାରେ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଜମା ଦ୍ୱାରା TN ହାର୍ଡ ଫିଲ୍ମ ସ୍ତର ହାସଲ କରିବାରେ ସକ୍ଷମ ହୋଇଛି, କିନ୍ତୁ ସେଗୁଡିକ ଗ୍ଲୋ ଡିସଚାର୍ଜ ପ୍ରକାରର ହୋଇଥିବାରୁ ଡିସଚାର୍ଜ ସାମ୍ପ୍ରତିକ ଘନତା ଯଥେଷ୍ଟ ଅଧିକ ନୁହେଁ (ତଥାପି mA / cm2 ସ୍ତର | ), ଏବଂ ସାମଗ୍ରିକ ପ୍ଲାଜମା ସାନ୍ଦ୍ରତା ଯଥେଷ୍ଟ ଅଧିକ ନୁହେଁ, ଏବଂ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଜମାକାରୀ ଯ ound ଗିକ ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା କଷ୍ଟକର |
3. ପଏଣ୍ଟ ବାଷ୍ପୀକରଣ ଉତ୍ସର ଆବରଣ ପରିସର ଛୋଟ |
ବିଭିନ୍ନ ବର୍ଦ୍ଧିତ ଆୟନ ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ବିମ୍ ବାଷ୍ପୀକରଣ ଉତ୍ସ ଏବଂ ଗାଣ୍ଟୁକୁ ଏକ ପଏଣ୍ଟ ବାଷ୍ପୀକରଣ ଉତ୍ସ ଭାବରେ ବ୍ୟବହାର କରେ, ଯାହା ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଜମା ପାଇଁ ଗାଣ୍ଟୁ ଉପରେ ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ବ୍ୟବଧାନରେ ସୀମିତ, ତେଣୁ ଉତ୍ପାଦକତା କମ୍, ପ୍ରକ୍ରିୟା କଷ୍ଟସାଧ୍ୟ ଏବଂ ଶିଳ୍ପାୟନ କରିବା କଷ୍ଟକର |
4. ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ବନ୍ଧୁକ ଉଚ୍ଚ ଚାପ ପ୍ରୟୋଗ |
ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ବନ୍ଧୁକ ଭୋଲଟେଜ୍ ହେଉଛି 6 ~ 30kV, ଏବଂ ୱାର୍କସ୍ପିସ୍ ବାୟାସ୍ ଭୋଲଟେଜ୍ ହେଉଛି 0.5 ~ 3kV, ଯାହା ହାଇ ଭୋଲଟେଜ୍ ଅପରେସନ୍ ସହିତ ଜଡିତ ଏବଂ ଏହାର କିଛି ସୁରକ୍ଷା ବିପଦ ରହିଛି |
—— ଏହି ଆର୍ଟିକିଲ୍ ଗୁଆଙ୍ଗଡଙ୍ଗ ଜେନହୁଆ ଟେକ୍ନୋଲୋଜି ଦ୍ୱାରା ପ୍ରକାଶିତ ହୋଇଥିଲା, aଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଆବରଣ ଯନ୍ତ୍ରର ନିର୍ମାତା |.
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ମେ -12-2023 |