Caratteristiche comuni della tecnologia di rivestimento ionico a scarica luminescente potenziata

1. La distorsione del pezzo è bassa

Grazie all'aggiunta di un dispositivo per aumentare il tasso di ionizzazione, la densità di corrente di scarica aumenta e la tensione di polarizzazione si riduce a 0,5~1 kV.

Si riducono gli spruzzi inversi causati dal bombardamento eccessivo di ioni ad alta energia e i danni che ne derivano sulla superficie del pezzo.

2. Aumento della densità plasmatica

Sono state aggiunte varie misure per promuovere l'ionizzazione da collisione e il tasso di ionizzazione del metallo è aumentato dal 3% a oltre il 15%. La densità di ioni chin e atomi neutri ad alta energia, ioni di azoto, atomi attivi ad alta energia e gruppi attivi nella camera di rivestimento è aumentata, il che favorisce la reazione per formare composti. Le suddette varie tecnologie di rivestimento ionico a scarica luminescente potenziata sono state in grado di ottenere strati di film duro TN mediante deposizione reattiva a densità di plasma più elevate, ma poiché appartengono al tipo a scarica luminescente, la densità di corrente di scarica non è sufficientemente elevata (ancora a livello di mA/cm2) e la densità complessiva del plasma non è sufficientemente elevata e il processo di rivestimento composto per deposizione reattiva è difficile.

3. La portata di rivestimento della sorgente di evaporazione puntiforme è ridotta

Diverse tecnologie avanzate di rivestimento ionico utilizzano sorgenti di evaporazione a fascio di elettroni e un rivelatore Gantu come sorgente di evaporazione puntiforme, che è limitata a un certo intervallo sopra il Gantu per la deposizione della reazione, quindi la produttività è bassa, il processo è difficile ed è difficile da industrializzare.

4. Funzionamento ad alta pressione della pistola elettronica

La tensione del cannone elettronico è di 6~30 kV e la tensione di polarizzazione del pezzo è di 0,5~3 kV, il che rientra nell'ambito delle operazioni ad alta tensione e comporta determinati rischi per la sicurezza.

——Questo articolo è stato pubblicato da Guangdong Zhenhua Technology, unproduttore di macchine per rivestimenti ottici.