Заеднички карактеристики на технологијата за обложување со јонски празнење со зголемен сјај

1. Пристрасноста на работното парче е мала

Поради додавање на уред за зголемување на стапката на јонизација, густината на струјата на празнење се зголемува, а напонот на пристрасност се намалува на 0,5 ~ 1 kV.

Назад напливот предизвикан од прекумерното бомбардирање на високоенергетски јони и ефектот на оштетување на површината на работното парче се намалуваат.

2. Зголемена густина на плазмата

Додадени се различни мерки за промовирање на јонизација при судир, а стапката на јонизација на металот се зголеми од 3% на повеќе од 15%.Зголемена е густината на јоните на брадата и високоенергетските неутрални атоми, јоните на азот, активните атоми со висока енергија и активните групи во комората за обложување, што е погодно за реакцијата за формирање соединенија.Горенаведените различни технологии за обложување со јонски празнење со зголемен сјај можеа да добијат TN слоеви на тврд филм со таложење на реакција при повисоки густини на плазмата, но бидејќи тие припаѓаат на типот на празнење на сјајот, густината на струјата на празнење не е доволно висока (сепак ниво mA/cm2 ), а вкупната густина на плазмата не е доволно висока, а процесот на обложување на соединението од таложење на реакцијата е тежок.

3. Опсегот на обложување на точкастичниот извор на испарување е мал

Различни технологии за подобрена јонска обвивка користат извори на испарување со електронски сноп, а ганту како точкест извор на испарување, кој е ограничен на одреден интервал над ганту за таложење на реакцијата, така што продуктивноста е мала, процесот е тежок и тешко е да се индустријализира.

4. Електронски пиштол работа под висок притисок

Напонот на електронскиот пиштол е 6~30kV, а напонот на пристрасност на работното парче е 0,5~3kV, што припаѓа на високонапонската работа и има одредени безбедносни опасности.

——Оваа статија е објавена од Гуангдонг Женхуа Технологија, апроизводител на машини за оптички облоги.