1. Наклонът на детайла е нисък
Благодарение на добавянето на устройство за увеличаване на скоростта на йонизация, плътността на разрядния ток се увеличава и преднапрежението се намалява до 0,5~1kV.
Обратното разпръскване, причинено от прекомерно бомбардиране на високоенергийни йони, и ефектът на увреждане на повърхността на детайла са намалени.
2. Повишена плътност на плазмата
Добавени са различни мерки за насърчаване на йонизацията при сблъсък и степента на йонизация на метала се е увеличила от 3% на повече от 15%.Плътността на брадичните йони и високоенергийните неутрални атоми, азотните йони, високоенергийните активни атоми и активните групи в камерата за покритие се увеличава, което е благоприятно за реакцията за образуване на съединения.Горепосочените различни подобрени технологии за йонно покритие с тлеещ разряд са успели да получат TN твърди филмови слоеве чрез реакционно отлагане при по-високи плътности на плазмата, но тъй като те принадлежат към типа на тлеещ разряд, плътността на тока на разреждане не е достатъчно висока (все още нивото на mA/cm2 ), а общата плътност на плазмата не е достатъчно висока и процесът на реакционно отлагане на съединението е труден.
3. Диапазонът на покритие на точковия източник на изпарение е малък
Различни подобрени технологии за йонно покритие използват източници на електронно лъчево изпарение и gantu като източник на точково изпарение, което е ограничено до определен интервал над gantu за реакционно отлагане, така че производителността е ниска, процесът е труден и е трудно да се индустриализира.
4. Работа с електронен пистолет под високо налягане
Напрежението на електронния пистолет е 6 ~ 30 kV, а напрежението на отклонение на детайла е 0,5 ~ 3 kV, което принадлежи към работа с високо напрежение и има определени опасности за безопасността.
——Тази статия е публикувана от Guangdong Zhenhua Technology, aпроизводител на машини за оптично покритие.
Време на публикуване: 12 май 2023 г