1. Předpětí obrobku je nízké
Díky přidání zařízení ke zvýšení rychlosti ionizace se hustota vybíjecího proudu zvýší a předpětí se sníží na 0,5~1 kV.
Snižuje se zpětné naprašování způsobené nadměrným bombardováním vysokoenergetickými ionty a poškození povrchu obrobku.
2. Zvýšená hustota plazmatu
Byla přidána různá opatření na podporu srážkové ionizace a rychlost ionizace kovu se zvýšila ze 3 % na více než 15 %.Hustota iontů brady a vysokoenergetických neutrálních atomů, dusíkových iontů, vysokoenergetických aktivních atomů a aktivních skupin v potahovací komoře je zvýšena, což přispívá k reakci za vzniku sloučenin.Výše uvedené různé technologie vylepšeného iontového potahování doutnavým výbojem dokázaly získat vrstvy tvrdého filmu TN reakčním nanášením při vyšších hustotách plazmatu, ale protože patří k typu doutnavého výboje, hustota výbojového proudu není dostatečně vysoká (stále úroveň mA/cm2 ) a celková hustota plazmatu není dostatečně vysoká a proces potahování reakčním nanášením sloučeniny je obtížný.
3. Rozsah povlakování bodového zdroje odpařování je malý
Různé technologie vylepšeného iontového potahování používají zdroje odpařování elektronového paprsku a gantu jako bodový zdroj odpařování, který je omezen na určitý interval nad gantu pro reakční nanášení, takže produktivita je nízká, proces je obtížný a je obtížné jej industrializovat.
4. Vysokotlaký provoz elektronické pistole
Napětí elektronové pistole je 6~30kV a předpětí obrobku je 0,5~3kV, což patří k vysokonapěťovému provozu a má určitá bezpečnostní rizika.
——Tento článek vydala společnost Guangdong Zhenhua Technology, avýrobce optických lakovacích strojů.
Čas odeslání: 12. května 2023