1. Arbetsstyckets förspänning är låg
På grund av tillägget av en anordning för att öka joniseringshastigheten ökas urladdningsströmtätheten och förspänningen reduceras till 0,5 ~ 1kV.
Backsputting som orsakas av överdrivet bombardemang av högenergijoner och skadeeffekten på arbetsstyckets yta reduceras.
2. Ökad plasmadensitet
Olika åtgärder för att främja kollisionsjonisering har lagts till och metalljoniseringsgraden har ökat från 3 % till mer än 15 %.Tätheten av hakjoner och högenergineutrala atomer, kvävejoner, högenergiaktiva atomer och aktiva grupper i beläggningskammaren ökas, vilket bidrar till reaktionen för att bilda föreningar.Ovanstående olika förbättrade glödurladdningsjonbeläggningsteknologier har kunnat erhålla TN-hårda filmskikt genom reaktionsavsättning vid högre plasmadensiteter, men eftersom de tillhör glödurladdningstypen är urladdningsströmdensiteten inte tillräckligt hög (fortfarande mA/cm2-nivå ) och den totala plasmadensiteten är inte tillräckligt hög, och processen för beläggning av reaktionsavsättningsförening är svår.
3. Beläggningsområdet för punktförångningskällan är litet
Olika förbättrade jonbeläggningstekniker använder elektronstråleförångningskällor och gantu som en punktförångningskälla, som är begränsad till ett visst intervall ovanför gantu för reaktionsavsättning, så produktiviteten är låg, processen är svår och det är svårt att industrialisera.
4. Elektronisk pistol högtrycksdrift
Elektronkanonspänningen är 6~30kV, och arbetsstyckets förspänning är 0,5~3kV, vilket hör till högspänningsdrift och har vissa säkerhetsrisker.
——Denna artikel släpptes av Guangdong Zhenhua Technology, atillverkare av optiska beläggningsmaskiner.
Posttid: 12 maj 2023