മെച്ചപ്പെടുത്തിയ ഗ്ലോ ഡിസ്ചാർജ് അയോൺ കോട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ പൊതുവായ സവിശേഷതകൾ

1. വർക്ക്പീസ് ബയസ് കുറവാണ്

അയോണൈസേഷൻ നിരക്ക് വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നതിന് ഒരു ഉപകരണം ചേർക്കുന്നത് കാരണം, ഡിസ്ചാർജ് കറന്റ് സാന്ദ്രത വർദ്ധിക്കുകയും ബയസ് വോൾട്ടേജ് 0.5 ~ 1kV ആയി കുറയുകയും ചെയ്യുന്നു.

ഉയർന്ന ഊർജ അയോണുകളുടെ അമിതമായ ബോംബാക്രമണം മൂലമുണ്ടാകുന്ന ബാക്ക്‌സ്‌പുട്ടറിംഗും വർക്ക്പീസ് ഉപരിതലത്തിലെ കേടുപാടുകൾ കുറയുന്നു.

2. വർദ്ധിച്ച പ്ലാസ്മ സാന്ദ്രത

കൂട്ടിയിടി അയോണൈസേഷൻ പ്രോത്സാഹിപ്പിക്കുന്നതിനുള്ള വിവിധ നടപടികൾ ചേർത്തു, ലോഹ അയോണൈസേഷൻ നിരക്ക് 3% ൽ നിന്ന് 15% ആയി വർദ്ധിച്ചു.ചിൻ അയോണുകളുടെയും ഉയർന്ന ഊർജ്ജ ന്യൂട്രൽ ആറ്റങ്ങളുടെയും നൈട്രജൻ അയോണുകളുടെയും ഉയർന്ന ഊർജ്ജമുള്ള സജീവ ആറ്റങ്ങളുടെയും കോട്ടിംഗ് ചേമ്പറിലെ സജീവ ഗ്രൂപ്പുകളുടെയും സാന്ദ്രത വർദ്ധിക്കുന്നു, ഇത് സംയുക്തങ്ങൾ രൂപപ്പെടുത്തുന്നതിനുള്ള പ്രതികരണത്തിന് അനുകൂലമാണ്.മേൽപ്പറഞ്ഞ വിവിധ മെച്ചപ്പെടുത്തിയ ഗ്ലോ ഡിസ്ചാർജ് അയോൺ കോട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യകൾക്ക് ഉയർന്ന പ്ലാസ്മ സാന്ദ്രതയിൽ റിയാക്ഷൻ ഡിപ്പോസിഷൻ വഴി TN ഹാർഡ് ഫിലിം പാളികൾ നേടാൻ കഴിഞ്ഞു, എന്നാൽ അവ ഗ്ലോ ഡിസ്ചാർജ് തരത്തിൽ പെട്ടതിനാൽ, ഡിസ്ചാർജ് കറന്റ് സാന്ദ്രത വേണ്ടത്ര ഉയർന്നതല്ല (ഇപ്പോഴും mA/cm2 ലെവൽ ), കൂടാതെ മൊത്തത്തിലുള്ള പ്ലാസ്മ സാന്ദ്രത വേണ്ടത്ര ഉയർന്നതല്ല, കൂടാതെ പ്രതികരണം നിക്ഷേപിക്കുന്ന സംയുക്ത പൂശുന്ന പ്രക്രിയ ബുദ്ധിമുട്ടാണ്.

3. പോയിന്റ് ബാഷ്പീകരണ ഉറവിടത്തിന്റെ പൂശൽ പരിധി ചെറുതാണ്

വിവിധ മെച്ചപ്പെടുത്തിയ അയോൺ കോട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യകൾ ഇലക്ട്രോൺ ബീം ബാഷ്പീകരണ സ്രോതസ്സുകൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു, കൂടാതെ ഒരു പോയിന്റ് ബാഷ്പീകരണ സ്രോതസ്സായി ഗാന്റു ഉപയോഗിക്കുന്നു, ഇത് പ്രതിപ്രവർത്തന നിക്ഷേപത്തിനായി ഗാന്റുവിന് മുകളിലുള്ള ഒരു നിശ്ചിത ഇടവേളയിൽ പരിമിതപ്പെടുത്തിയിരിക്കുന്നു, അതിനാൽ ഉൽപാദനക്ഷമത കുറവാണ്, പ്രക്രിയ ബുദ്ധിമുട്ടാണ്, വ്യാവസായികമാക്കാൻ പ്രയാസമാണ്.

4. ഇലക്ട്രോണിക് തോക്ക് ഉയർന്ന മർദ്ദം പ്രവർത്തനം

ഇലക്‌ട്രോൺ ഗൺ വോൾട്ടേജ് 6~30kV ആണ്, കൂടാതെ വർക്ക്പീസ് ബയസ് വോൾട്ടേജ് 0.5~3kV ആണ്, ഇത് ഉയർന്ന വോൾട്ടേജ് പ്രവർത്തനത്തിൽ പെട്ടതും ചില സുരക്ഷാ അപകടങ്ങളുള്ളതുമാണ്.

——ഈ ലേഖനം പുറത്തിറക്കിയത് Guangdong Zhenhua Technology, aഒപ്റ്റിക്കൽ കോട്ടിംഗ് മെഷീനുകളുടെ നിർമ്മാതാവ്.