1. U preghjudiziu di u travagliu hè bassu
A causa di l'aghjunzione di un dispositivu per aumentà a rata di ionizazione, a densità di corrente di scarica hè aumentata, è a tensione di bias hè ridutta à 0.5 ~ 1kV.
U backsputtering causatu da u bumbardamentu eccessivu di ioni d'alta energia è l'effettu di danni à a superficia di u travagliu sò ridotti.
2. A densità di plasma aumentata
Diverse misure per prumove l'ionizazione di collisione sò state aghjunte, è a tarifa di ionizazione di metalli hè aumentata da 3% à più di 15%.A densità di ioni di chin è atomi neutri d'alta energia, ioni di nitrogenu, atomi attivi d'alta energia è gruppi attivi in a camera di revestimentu hè aumentatu, chì hè favurèvule à a reazione per furmà composti.E diverse tecnulugii di rivestimentu di ioni di scarica incandescente di sopra sò stati capaci di ottene strati di film duru TN per deposizione di reazione à densità di plasma più elevate, ma perchè appartenenu à u tipu di scarica incandescente, a densità di corrente di scarica ùn hè micca abbastanza alta (ancora u livellu mA / cm2). ), è a densità di plasma generale ùn hè micca abbastanza alta, è u prucessu di u revestimentu di compostu di deposizione di reazione hè difficiule.
3. A gamma di rivestimentu di a fonte di evaporazione puntu hè chjuca
Diversi tecnulugii di rivestimentu di ioni rinfurzata utilizanu fonti di evaporazione di fasciu elettroni, è gantu cum'è fonte di evaporazione puntuale, chì hè limitata à un certu intervallu sopra gantu per a deposizione di reazzione, cusì a produtividade hè bassa, u prucessu hè difficiule, è hè difficiule di industrializà.
4. Pistola elettronica funziunamentu high-pressure
A tensione di u cannone elettronicu hè 6 ~ 30kV, è a tensione di bias di u travagliu hè 0.5 ~ 3kV, chì appartene à u funziunamentu d'alta tensione è hà certi periculi di sicurezza.
——Stu articulu hè statu liberatu da Guangdong Zhenhua Technology, afabricatore di macchine di rivestimentu otticu.
Tempu di post: May-12-2023