1. O sesgo da peza é baixo
Debido á adición dun dispositivo para aumentar a taxa de ionización, a densidade de corrente de descarga aumenta e a tensión de polarización redúcese a 0,5 ~ 1 kV.
Redúcense o backsputtering causado polo bombardeo excesivo de ións de alta enerxía e o efecto dano na superficie da peza.
2. Aumento da densidade do plasma
Engadíronse varias medidas para promover a ionización por colisión e a taxa de ionización do metal aumentou do 3% a máis do 15%.Aumenta a densidade de ións de mentón e átomos neutros de alta enerxía, ións de nitróxeno, átomos activos de alta enerxía e grupos activos na cámara de revestimento, o que favorece a reacción para formar compostos.As diversas tecnoloxías de revestimento iónico de descarga luminiscente melloradas anteriores foron capaces de obter capas de película dura TN mediante a deposición de reacción a densidades de plasma máis altas, pero debido a que pertencen ao tipo de descarga luminiscente, a densidade de corrente de descarga non é o suficientemente alta (aínda o nivel de mA/cm2). ), e a densidade global do plasma non é o suficientemente alta, e o proceso de revestimento do composto de deposición de reacción é difícil.
3. O rango de revestimento da fonte de evaporación puntual é pequeno
Varias tecnoloxías de revestimento iónico mellorados usan fontes de evaporación de feixe de electróns e gantu como fonte de evaporación puntual, que se limita a un determinado intervalo por encima do gantu para a deposición de reacción, polo que a produtividade é baixa, o proceso é difícil e é difícil de industrializar.
4. Funcionamento de alta presión da pistola electrónica
A tensión do canón de electróns é de 6 ~ 30 kV e a tensión de polarización da peza de traballo é de 0,5 ~ 3 kV, que pertence ao funcionamento de alta tensión e ten certos riscos de seguridade.
——Este artigo foi publicado por Guangdong Zhenhua Technology, afabricante de máquinas de revestimento óptico.
Hora de publicación: 12-maio-2023