1. Le biais de la pièce est faible
Grâce à l'ajout d'un dispositif destiné à augmenter le taux d'ionisation, la densité de courant de décharge est augmentée et la tension de polarisation est réduite à 0,5~1 kV.
Le phénomène de rétro-pulvérisation causé par un bombardement excessif d'ions de haute énergie et les dommages qu'il engendre sur la surface de la pièce sont réduits.
2. Augmentation de la densité plasmatique
Diverses mesures visant à favoriser l'ionisation par collision ont été mises en œuvre, et le taux d'ionisation des métaux est passé de 3 % à plus de 15 %. La densité des ions chiral, des atomes neutres de haute énergie, des ions azote, des atomes actifs de haute énergie et des groupes actifs dans la chambre de revêtement a été accrue, ce qui favorise la réaction de formation de composés. Ces différentes technologies de revêtement ionique par décharge luminescente améliorée ont permis d'obtenir des couches minces de TN par dépôt réactionnel à des densités de plasma plus élevées. Cependant, étant donné qu'il s'agit de procédés de décharge luminescente, la densité de courant de décharge reste insuffisante (de l'ordre du mA/cm²) et la densité de plasma globale est également insuffisante, ce qui rend le processus de dépôt de composés par réaction difficile.
3. La zone de revêtement de la source d'évaporation ponctuelle est réduite.
Diverses technologies de revêtement ionique améliorées utilisent des sources d'évaporation par faisceau d'électrons et Gantu comme source d'évaporation ponctuelle, ce qui est limité à un certain intervalle au-dessus de Gantu pour le dépôt par réaction ; la productivité est donc faible, le processus est difficile et son industrialisation est complexe.
4. Fonctionnement à haute pression du pistolet électronique
La tension du canon à électrons est de 6 à 30 kV et la tension de polarisation de la pièce est de 0,5 à 3 kV, ce qui relève du fonctionnement à haute tension et comporte certains risques pour la sécurité.
Cet article a été publié par Guangdong Zhenhua Technology, une entreprise de technologie de pointe.fabricant de machines de revêtement optique.
Date de publication : 12 mai 2023