የተሻሻለ የግሎት ፈሳሽ አዮን ሽፋን ቴክኖሎጂ የተለመዱ ባህሪያት

1. የሥራው ገጽታ አድልዎ ዝቅተኛ ነው

የአዮኒዜሽን መጠንን ለመጨመር መሳሪያ በመጨመሩ ምክንያት፣ የፈሳሽ ፍሰት ጥግግት ይጨምራል፣ እና የባይዞል ቮልቴጅ ወደ 0.5~1kV ይቀንሳል።

ከፍተኛ ኃይል ባላቸው አዮኖች ከመጠን በላይ በሚፈነዳ ቦምብ እና በስራ ቦታው ወለል ላይ የሚደርሰው ጉዳት የሚፈጠረው የኋላ መወጠር ይቀንሳል።

2. የፕላዝማ ጥግግት መጨመር

የግጭት አዮኒዜሽንን ለማበረታታት የተለያዩ እርምጃዎች ተጨምረዋል፣ እና የብረት አዮኒዜሽን መጠን ከ3% ወደ 15% ጨምሯል። በሽፋን ክፍል ውስጥ የአገጭ አየኖች እና ከፍተኛ ኃይል ያላቸው ገለልተኛ አቶሞች፣ የናይትሮጅን አየኖች፣ ከፍተኛ ኃይል ያላቸው ንቁ አቶሞች እና ንቁ ቡድኖች ጥግግት ጨምሯል፣ ይህም ውህደቶችን ለመፍጠር ለሚፈጠረው ምላሽ ምቹ ነው። ከላይ የተጠቀሱት የተለያዩ የተሻሻሉ የግሎቭ ፈሳሽ አዮን ሽፋን ቴክኖሎጂዎች በከፍተኛ የፕላዝማ ጥግግት ምላሽ በማስቀመጥ የTN ጠንካራ የፊልም ንብርብሮችን ማግኘት ችለዋል፣ ነገር ግን የግሎቭ ፈሳሽ አይነት ስለሆኑ፣ የፍሎው ፈሳሽ የአሁኑ ጥግግት በቂ አይደለም (አሁንም mA/cm2 ደረጃ)፣ እና አጠቃላይ የፕላዝማ ጥግግት በቂ አይደለም፣ እና የምላሽ ማስቀመጫ ውህድ ሽፋን ሂደት አስቸጋሪ ነው።

3. የነጥብ ትነት ምንጭ የሽፋን ክልል ትንሽ ነው

የተለያዩ የተሻሻሉ የአዮን ሽፋን ቴክኖሎጂዎች የኤሌክትሮን ጨረር ትነት ምንጮችን እና ጋንቱን እንደ ነጥብ ትነት ምንጭ ይጠቀማሉ፣ ይህም ከጋንቱ በላይ ለተወሰነ የጊዜ ክፍተት ብቻ የተወሰነ ነው፣ ስለዚህ ምርታማነቱ ዝቅተኛ ነው፣ ሂደቱ አስቸጋሪ ነው፣ እና ኢንዱስትሪያዊ ለማድረግ አስቸጋሪ ነው።

4. የኤሌክትሮኒክ ሽጉጥ ከፍተኛ ግፊት ያለው አሠራር

የኤሌክትሮን ሽጉጥ ቮልቴጅ 6~30kV ሲሆን የስራው ፓይፕ ባየል ቮልቴጅ ደግሞ 0.5~3kV ሲሆን ይህም ከፍተኛ ቮልቴጅ ያለው ሲሆን የተወሰኑ የደህንነት አደጋዎች አሉት።

——ይህ ጽሑፍ የወጣው በጓንግዶንግ ዠንሁዋ ቴክኖሎጂ ነው።የኦፕቲካል ሽፋን ማሽኖች አምራች.