Mga karaniwang katangian ng pinahusay na teknolohiya ng glow discharge ion coating

1. Mababa ang bias ng workpiece

Dahil sa pagdaragdag ng isang aparato upang mapataas ang ionization rate, ang discharge current density ay tumataas, at ang bias voltage ay nababawasan sa 0.5~1kV.

Nababawasan ang backsputtering na dulot ng labis na pambobomba ng mga high-energy ion at ang epekto ng pinsala sa ibabaw ng workpiece.

2. Tumaas na densidad ng plasma

Iba't ibang hakbang ang idinagdag upang isulong ang collision ionization, at ang metal ionization rate ay tumaas mula 3% hanggang mahigit 15%. Ang density ng chin ions at high-energy neutral atoms, nitrogen ions, high-energy active atoms at active groups sa coating chamber ay tumaas, na nakakatulong sa reaksyon upang bumuo ng mga compound. Ang iba't ibang pinahusay na glow discharge ion coating technologies sa itaas ay nakagawa ng TN hard film layers sa pamamagitan ng reaction deposition sa mas mataas na plasma densities, ngunit dahil kabilang ang mga ito sa glow discharge type, ang discharge current density ay hindi sapat na mataas (mA/cm2 level pa rin), at ang pangkalahatang plasma density ay hindi sapat na mataas, at ang proseso ng reaction deposition compound coating ay mahirap.

3. Maliit ang saklaw ng patong ng pinagmumulan ng pagsingaw ng punto

Gumagamit ang iba't ibang pinahusay na teknolohiya ng ion coating ng mga pinagmumulan ng pagsingaw ng electron beam, at ang gantu bilang pinagmumulan ng pagsingaw ng punto, na limitado sa isang tiyak na agwat sa itaas ng gantu para sa deposisyon ng reaksyon, kaya mababa ang produktibidad, mahirap ang proseso, at mahirap gawing industriyalisado.

4. Operasyon ng mataas na presyon ng elektronikong baril

Ang boltahe ng electron gun ay 6~30kV, at ang boltahe ng bias ng workpiece ay 0.5~3kV, na kabilang sa operasyong may mataas na boltahe at may ilang mga panganib sa kaligtasan.

——Ang artikulong ito ay inilabas ng Guangdong Zhenhua Technology, isangtagagawa ng mga makinang pang-optical coating.