1. Ang bias ng workpiece ay mababa
Dahil sa pagdaragdag ng isang aparato upang mapataas ang rate ng ionization, ang discharge current density ay tumataas, at ang bias na boltahe ay nabawasan sa 0.5~1kV.
Ang backsputtering na dulot ng labis na pambobomba ng mga high-energy ions at ang epekto ng pinsala sa ibabaw ng workpiece ay nababawasan.
2. Tumaas na plasma density
Iba't ibang mga hakbang upang isulong ang banggaan ionization ay idinagdag, at ang metal ionization rate ay tumaas mula sa 3% sa higit sa 15%.Ang density ng chin ions at high-energy neutral atoms, nitrogen ions, high-energy active atoms at aktibong grupo sa coating chamber ay nadagdagan, na nakakatulong sa reaksyon upang bumuo ng mga compound.Ang iba't ibang pinahusay na teknolohiya ng glow discharge ion coating sa itaas ay nakakuha ng mga layer ng hard film ng TN sa pamamagitan ng pagdeposito ng reaksyon sa mas mataas na density ng plasma, ngunit dahil nabibilang sila sa uri ng glow discharge, ang discharge current density ay hindi sapat na mataas (pa rin ang mA/cm2 level ), at ang pangkalahatang density ng plasma ay hindi sapat na mataas, at ang proseso ng reaksyon ng pagtitiwalag ng tambalang patong ay mahirap.
3. Ang saklaw ng patong ng pinagmumulan ng pagsingaw ng punto ay maliit
Ang iba't ibang mga pinahusay na teknolohiya ng patong ng ion ay gumagamit ng mga mapagkukunan ng pagsingaw ng electron beam, at ang gantu bilang isang mapagkukunan ng pagsingaw ng punto, na limitado sa isang tiyak na agwat sa itaas ng gantu para sa pagdeposito ng reaksyon, kaya ang pagiging produktibo ay mababa, ang proseso ay mahirap, at mahirap i-industriyalize.
4. Pagpapatakbo ng mataas na presyon ng elektronikong baril
Ang boltahe ng electron gun ay 6~30kV, at ang bias na boltahe ng workpiece ay 0.5~3kV, na kabilang sa high-voltage na operasyon at may ilang mga panganib sa kaligtasan.
——Ang artikulong ito ay inilabas ng Guangdong Zhenhua Technology, atagagawa ng optical coating machine.
Oras ng post: Mayo-12-2023