1. İş parçası eğimi düşük
İyonlaşma oranını artırmak için bir cihazın eklenmesi nedeniyle, deşarj akımı yoğunluğu artar ve ön gerilim 0,5~1kV'a düşürülür.
Yüksek enerjili iyonların aşırı bombardımanından kaynaklanan geri püskürtme ve iş parçası yüzeyindeki hasar etkisi azaltılır.
2. Artan plazma yoğunluğu
Çarpışma iyonlaşmasını desteklemek için çeşitli önlemler eklendi ve metal iyonlaşma oranı %3'ten %15'in üzerine çıktı.Kaplama odasındaki çene iyonlarının ve yüksek enerjili nötr atomların, nitrojen iyonlarının, yüksek enerjili aktif atomların ve aktif grupların yoğunluğu artar, bu da bileşikler oluşturmak için reaksiyona elverişlidir.Yukarıdaki çeşitli gelişmiş kızdırma deşarjlı iyon kaplama teknolojileri, daha yüksek plazma yoğunluklarında reaksiyon biriktirme yoluyla TN sert film tabakaları elde etmeyi başarmıştır, ancak bunlar akkor deşarj tipine ait olduklarından, deşarj akımı yoğunluğu yeterince yüksek değildir (yine de mA/cm2 seviyesi) ) ve toplam plazma yoğunluğu yeterince yüksek değildir ve reaksiyon biriktirme bileşik kaplama işlemi zordur.
3. Nokta buharlaşma kaynağının kaplama aralığı küçüktür
Çeşitli gelişmiş iyon kaplama teknolojileri, reaksiyon biriktirme için gantu'nun üzerinde belirli bir aralıkla sınırlı olan bir nokta buharlaşma kaynağı olarak elektron ışını buharlaşma kaynakları ve gantu kullanır, bu nedenle verimlilik düşüktür, süreç zordur ve sanayileşmesi zordur.
4. Elektronik tabanca yüksek basınçlı çalıştırma
Elektron tabancası voltajı 6~30kV'dir ve iş parçası öngerilim voltajı 0,5~3kV'dir, bu yüksek voltajlı çalışmaya aittir ve belirli güvenlik tehlikeleri vardır.
——Bu makale, Guangdong Zhenhua Technology tarafından yayınlandı.optik kaplama makineleri üreticisi.
Gönderim zamanı: 12 Mayıs-2023