Ihe ndị a na-ahụkarị nke teknụzụ mkpuchi ion na-eme ka ìhè na-agbapụta nke ọma

1. Echiche arụ ọrụ dị ala

N'ihi mgbakwunye nke ngwaọrụ iji mee ka ọnụego ionization dịkwuo elu, njupụta nke ugbu a na-apụta na-abawanye, a na-ebelatakwa voltaji bias ruo 0.5 ~ 1kV.

Mkpọda azụ nke sitere na nnukwu bọmbụ nke ion ike dị elu na mmetụta mmebi na elu workpiece na-ebelata.

2. Mmụba njupụta plasma

Agbakwunyela ọtụtụ usoro iji kwalite ionization nke nkpọkọ, ọnụego ionization ígwè amụbaala site na 3% ruo ihe karịrị 15%. Njupụta nke ion chin na atọm na-anọpụ iche nke ike dị elu, ion nitrogen, atọm na-arụ ọrụ nke ike dị elu na otu ndị na-arụ ọrụ n'ime ụlọ mkpuchi na-abawanye, nke na-enyere aka na mmeghachi omume na ngwakọta ndị na-emepụta ihe. Teknụzụ mkpuchi ion dị iche iche emelitere dị n'elu enwewo ike inweta akwa ihe nkiri siri ike TN site na nkwụnye mmeghachi omume na njupụta plasma dị elu, mana n'ihi na ha bụ ụdị mwepụ ìhè, njupụta ugbu a anaghị adị elu (ọkwa mA/cm2 ka dị), njupụta plasma zuru oke adịghịkwa elu, usoro nke mkpuchi mkpokọta mmeghachi omume siri ike.

3. Oke mkpuchi nke isi iyi ikuku dị obere

Teknụzụ mkpuchi ion dị iche iche emelitere na-eji isi mmalite ikuku elektrọn, na gantu dị ka isi iyi ikuku, nke a na-ejedebe na oge ụfọdụ n'elu gantu maka itinye mmeghachi omume, yabụ mmepụta ahụ dị ala, usoro ahụ siri ike, ọ na-esikwa ike ime ka ọ bụrụ ụlọ ọrụ mmepụta ihe.

4. Ọrụ egbe eletrọniki dị elu

Voltaji egbe elektrọn bụ 6 ~ 30kV, voltaji bias workpiece bụkwa 0.5 ~ 3kV, nke bụ ọrụ voltaji dị elu ma nwee ụfọdụ ihe egwu nchekwa.

——E bipụtara akụkọ a site na Guangdong Zhenhua Technology, aonye na-emepụta igwe mkpuchi anya.