మెరుగైన గ్లో డిశ్చార్జ్ అయాన్ కోటింగ్ టెక్నాలజీ యొక్క సాధారణ లక్షణాలు

1. వర్క్‌పీస్ బయాస్ తక్కువగా ఉంది

అయనీకరణ రేటును పెంచే పరికరాన్ని జోడించడం వల్ల, డిశ్చార్జ్ కరెంట్ సాంద్రత పెరిగి, బయాస్ వోల్టేజ్ 0.5~1kV కి తగ్గుతుంది.

అధిక శక్తి గల అయాన్‌ల మితిమీరిన తాకిడి వలన కలిగే బ్యాక్‌స్పుటరింగ్ మరియు వర్క్‌పీస్ ఉపరితలంపై కలిగే నష్ట ప్రభావం తగ్గుతాయి.

2. పెరిగిన ప్లాస్మా సాంద్రత

ఘర్షణ అయనీకరణను ప్రోత్సహించడానికి వివిధ చర్యలు జోడించబడ్డాయి, మరియు లోహ అయనీకరణ రేటు 3% నుండి 15% కంటే ఎక్కువగా పెరిగింది. కోటింగ్ చాంబర్‌లో చైన్ అయాన్లు మరియు అధిక-శక్తి తటస్థ పరమాణువులు, నైట్రోజన్ అయాన్లు, అధిక-శక్తి క్రియాశీల పరమాణువులు మరియు క్రియాశీల సమూహాల సాంద్రత పెరిగింది, ఇది సమ్మేళనాలను ఏర్పరచడానికి జరిగే చర్యకు అనుకూలంగా ఉంటుంది. పైన పేర్కొన్న వివిధ మెరుగైన గ్లో డిశ్చార్జ్ అయాన్ కోటింగ్ టెక్నాలజీలు అధిక ప్లాస్మా సాంద్రతల వద్ద రియాక్షన్ డిపోజిషన్ ద్వారా TN హార్డ్ ఫిల్మ్ పొరలను పొందగలిగాయి, కానీ అవి గ్లో డిశ్చార్జ్ రకానికి చెందినవి కావడం వల్ల, డిశ్చార్జ్ కరెంట్ సాంద్రత తగినంత ఎక్కువగా ఉండదు (ఇంకా mA/cm2 స్థాయిలోనే ఉంటుంది), మరియు మొత్తం ప్లాస్మా సాంద్రత కూడా తగినంత ఎక్కువగా ఉండదు, అందువల్ల రియాక్షన్ డిపోజిషన్ కాంపౌండ్ కోటింగ్ ప్రక్రియ కష్టంగా ఉంటుంది.

3. బిందు బాష్పీభవన మూలం యొక్క పూత పరిధి తక్కువగా ఉంటుంది

వివిధ మెరుగైన అయాన్ కోటింగ్ టెక్నాలజీలు ఎలక్ట్రాన్ బీమ్ ఎవాపరేషన్ సోర్స్‌లను మరియు గంటును ఒక పాయింట్ ఎవాపరేషన్ సోర్స్‌గా ఉపయోగిస్తాయి, ఇది రియాక్షన్ డిపాజిషన్ కోసం గంటుకు పైన ఉన్న ఒక నిర్దిష్ట అంతరానికి పరిమితం చేయబడింది, కాబట్టి ఉత్పాదకత తక్కువగా ఉంటుంది, ప్రక్రియ కష్టంగా ఉంటుంది మరియు దీనిని పారిశ్రామికీకరించడం కష్టం.

4. ఎలక్ట్రానిక్ గన్ అధిక పీడన ఆపరేషన్

ఎలక్ట్రాన్ గన్ వోల్టేజ్ 6~30kV మరియు వర్క్‌పీస్ బయాస్ వోల్టేజ్ 0.5~3kV ఉంటుంది, ఇది అధిక-వోల్టేజ్ ఆపరేషన్‌కు చెందినది మరియు కొన్ని భద్రతా ప్రమాదాలను కలిగి ఉంటుంది.

ఈ కథనాన్ని గ్వాంగ్‌డాంగ్ జెన్‌హువా టెక్నాలజీ అనే సంస్థ విడుదల చేసింది.ఆప్టికల్ కోటింగ్ యంత్రాల తయారీదారు.