1. Ажлын хэсгийн хэвийлт бага байна
Ионжуулалтын хурдыг нэмэгдүүлэх төхөөрөмж нэмснээр цэнэг алдалтын гүйдлийн нягтрал нэмэгдэж, хэвийсэн хүчдэл 0.5~1кВ хүртэл буурдаг.
Өндөр энергийн ионуудыг хэт их бөмбөгдөхөөс үүдэлтэй арагшаа цацрах, ажлын хэсгийн гадаргуу дээр үзүүлэх гэмтлийн нөлөөг бууруулдаг.
2. Плазмын нягтрал нэмэгдэх
Мөргөлдөөний ионжуулалтыг дэмжих янз бүрийн арга хэмжээг нэмж, металлын ионжуулалтын түвшин 3%-иас 15%-иас дээш болж өссөн. Бүрхүүлтэй камерт эрүүний ион болон өндөр энергитэй саармаг атомууд, азотын ионууд, өндөр энергитэй идэвхтэй атомууд болон идэвхтэй бүлгүүдийн нягтрал нэмэгдэж, нэгдэл үүсгэх урвалд таатай байна. Дээрх янз бүрийн сайжруулсан гэрэлтэлттэй ионы бүрхүүлийн технологиуд нь өндөр плазмын нягтралтай урвалд орох замаар TN хатуу хальсан давхаргыг гаргаж авах боломжтой болсон боловч тэдгээр нь гэрэлтэлттэй ионы төрөлд хамаарах тул гадагшлуулах гүйдлийн нягтрал хангалттай өндөр биш (мА/см2 түвшин хэвээр), нийт плазмын нягтрал хангалттай өндөр биш бөгөөд урвалд орох нийлмэл бүрхүүлийн үйл явц хэцүү байна.
3. Цэгийн ууршилтын эх үүсвэрийн бүрхүүлийн хүрээ бага байна
Төрөл бүрийн сайжруулсан ионы бүрхүүлийн технологиуд нь электрон цацрагийн ууршилтын эх үүсвэрийг ашигладаг бөгөөд гантуг цэгийн ууршилтын эх үүсвэр болгон ашигладаг бөгөөд энэ нь урвалын тунадасжилтын хувьд гантугаас дээш тодорхой интервалаар хязгаарлагддаг тул бүтээмж бага, үйл явц нь хэцүү бөгөөд үйлдвэржүүлэхэд хэцүү байдаг.
4. Электрон бууны өндөр даралтын ажиллагаа
Электрон бууны хүчдэл нь 6-30 кВ, ажлын хэсгийн хэвийсэн хүчдэл нь 0.5-3 кВ бөгөөд энэ нь өндөр хүчдэлийн ажиллагаанд хамаарах бөгөөд аюулгүй байдлын тодорхой эрсдэлтэй байдаг.
——Энэ нийтлэлийг Гуандун Жэнхуа Технологи компани нийтэлсэноптик бүрэх машин үйлдвэрлэгч.
Нийтэлсэн цаг: 2023 оны 5-р сарын 12