1. Смещение заготовки невелико.
Благодаря добавлению устройства, увеличивающего скорость ионизации, плотность разрядного тока возрастает, а напряжение смещения снижается до 0,5–1 кВ.
Обратное распыление, вызванное чрезмерной бомбардировкой высокоэнергетическими ионами, и повреждающее воздействие на поверхность заготовки уменьшаются.
2. Повышенная плотность плазмы
Были добавлены различные меры для усиления столкновительной ионизации, и скорость ионизации металла увеличилась с 3% до более чем 15%. Увеличена плотность ионов хина и высокоэнергетических нейтральных атомов, ионов азота, высокоэнергетических активных атомов и активных групп в камере нанесения покрытия, что способствует реакции образования соединений. Вышеупомянутые усовершенствованные технологии ионного нанесения покрытий тлеющим разрядом позволили получить твердые пленочные слои TN методом реакционного осаждения при более высоких плотностях плазмы, но поскольку они относятся к типу тлеющего разряда, плотность тока разряда недостаточно высока (все еще на уровне мА/см²), и общая плотность плазмы недостаточна, а процесс реакционного осаждения соединений затруднен.
3. Диапазон нанесения покрытия точечным источником испарения невелик.
В различных усовершенствованных технологиях ионного нанесения покрытий используются источники электронно-лучевого испарения, а также ганьтоэлектронный испаритель в качестве точечного источника испарения, что ограничивает диапазон выше ганьтоэлектронного испарителя для реакционного осаждения. Поэтому производительность низкая, процесс сложный, и его трудно внедрить в промышленность.
4. Работа электронного пистолета высокого давления
Напряжение электронного пучка составляет 6–30 кВ, а напряжение смещения заготовки — 0,5–3 кВ, что относится к работе при высоком напряжении и сопряжено с определенными опасностями для безопасности.
— Данная статья была опубликована компанией Guangdong Zhenhua Technology.производитель машин для нанесения оптических покрытий.
Дата публикации: 12 мая 2023 г.