1. D'workpiece Viraussetzung ass niddereg
Wéinst der Zousatz vun engem Apparat fir d'Ioniséierungsquote ze erhéijen, gëtt d'Entladungsstroumdicht erhéicht, an d'Basspannung gëtt op 0,5 ~ 1kV reduzéiert.
D'Récksputter, déi duerch exzessiv Bombardement vun héich-Energie-Ionen verursaacht gëtt an de Schuedeffekt op der Werkstücksfläche ginn reduzéiert.
2. Méi Plasma Dicht
Verschidde Moossname fir d'Kollisiounioniséierung ze förderen goufen derbäigesat, an d'Metallioniséierungsquote ass vun 3% op méi wéi 15% eropgaang.D'Dicht vu Kinnionen an héichenergesche neutralen Atomer, Stickstoffionen, héichenergieaktiven Atomer an aktive Gruppen an der Beschichtungskammer gëtt erhéicht, wat d'Reaktioun fir d'Formatioun vu Verbindungen bevorzugt.Déi uewe verschidde verstäerkte Glüh-Entladungs-Ionbeschichtungstechnologien konnten TN-Hardfilmschichten duerch Reaktiounsdepositioun bei méi héije Plasma-Dichtegkeeten kréien, awer well se zum Glüh-Entladungstyp gehéieren, ass d'Entladungsstroumdicht net héich genuch (nach ëmmer mA/cm2 Niveau). ), an d'Gesamt Plasma Dicht ass net héich genuch, an de Prozess vun der Reaktioun Oflagerung Verbindung Beschichtung ass schwéier.
3. D'Beschichtungsberäich vun der Punktverdampungsquell ass kleng
Verschidde verstäerkte Ionbeschichtungstechnologien benotzen Elektronenstrahl-Verdampungsquellen, a gantu als Punktverdampungsquell, déi op e gewëssen Intervall iwwer gantu fir Reaktiounsdepositioun limitéiert ass, sou datt d'Produktivitéit niddereg ass, de Prozess ass schwéier, an et ass schwéier ze industrialiséieren.
4. Elektronesch Pistoul héich-Drock Operatioun
D'Elektron Pistoul Spannung ass 6 ~ 30kV, an workpiece Viraussetzung Volt ass 0,5 ~ 3kV, déi zu Héich-Volt Operatioun gehéiert a bestëmmte Sécherheetsrisiken huet.
——Den Artikel gouf vum Guangdong Zhenhua Technology, aFabrikant vun opteschen Beschichtungsmaschinnen.
Post Zäit: Mee-12-2023