Заједничке карактеристике побољшане технологије јонског премаза са сјајним пражњењем

1. Пристрасност радног предмета је мала

Због додавања уређаја за повећање брзине јонизације, густина струје пражњења је повећана, а преднапон се смањује на 0,5~1кВ.

Повратно прскање изазвано прекомерним бомбардовањем јона високе енергије и ефекат оштећења на површини радног предмета су смањени.

2. Повећана густина плазме

Додате су разне мере за промовисање колизионе јонизације, а стопа јонизације метала је повећана са 3% на више од 15%.Густина чин јона и високоенергетских неутралних атома, јона азота, високоенергетских активних атома и активних група у комори за облагање је повећана, што је погодно за реакцију формирања једињења.Горе наведене различите технологије превлаке јона са побољшаним пражњењем сјаја су успеле да добију слојеве тврдог филма ТН реакционим таложењем при већим густинама плазме, али пошто припадају типу светлећег пражњења, густина струје пражњења није довољно висока (и даље ниво мА/цм2 ), а укупна густина плазме није довољно висока, а процес реакционог таложења једињења је тежак.

3. Опсег премаза тачкастог извора испаравања је мали

Различите технологије побољшаног јонског премаза користе изворе испаравања електронским снопом, а ганту као тачкасти извор испаравања, који је ограничен на одређени интервал изнад гантуа за реакционо таложење, тако да је продуктивност ниска, процес је тежак и тешко га је индустријализирати.

4. Рад електронског пиштоља под високим притиском

Напон електронског пиштоља је 6~30кВ, а напон пристрасности радног комада је 0,5~3кВ, што припада високонапонском раду и има одређене опасности по безбедност.

——Овај чланак је објавио Гуангдонг Зхенхуа Тецхнологи, апроизвођач машина за оптичко премазивање.