1. Тамоюли қисмати корӣ паст аст
Аз ҳисоби илова кардани дастгоҳе барои баланд бардоштани суръати ионизатсия, зичии ҷараёни холӣ зиёд мешавад ва шиддати ғаразнок то 0,5 ~ 1 кВ кам мешавад.
Пошхӯрии қафо, ки дар натиҷаи бомбаборони аз ҳад зиёди ионҳои дорои энергияи баланд ба вуҷуд меояд ва таъсири зарар ба сатҳи қисмати корӣ кам мешавад.
2. Зичии плазмаи зиёдшуда
Тадбирҳои гуногун барои мусоидат ба ионизатсияи бархӯрд илова карда шуданд ва суръати ионизатсияи металл аз 3% то беш аз 15% афзоиш ёфт. Зичии ионҳои чинӣ ва атомҳои бетарафи энергияи баланд, ионҳои нитроген, атомҳои фаъоли энергияи баланд ва гурӯҳҳои фаъол дар камераи пӯшиш афзоиш ёфтааст, ки барои реаксия барои ташаккули пайвастагиҳо мусоидат мекунад. Технологияҳои гуногуни такмилёфтаи пӯшиши ионии партови дурахшон, ки дар боло зикр шудаанд, тавонистанд қабатҳои плёнкаи сахти TN-ро тавассути ҷойгиркунии реаксия дар зичии плазмаи баландтар ба даст оранд, аммо азбаски онҳо ба намуди партови дурахшон тааллуқ доранд, зичии ҷараёни партов ба қадри кофӣ баланд нест (ҳанӯз ҳам сатҳи мА/см2) ва зичии умумии плазма ба қадри кофӣ баланд нест ва раванди пӯшонидани пайвастагии ҷойгиркунии реаксия душвор аст.
3. Диапазони пӯшиши манбаи бухоршавии нуқтаӣ хурд аст
Технологияҳои гуногуни такмилёфтаи пӯшонидани ионҳо манбаъҳои бухоршавии шуоъи электрониро ва гантуро ҳамчун манбаи бухоршавии нуқтаӣ истифода мебаранд, ки барои таҳшиншавии реаксия бо фосилаи муайяни болотар аз ганту маҳдуд аст, аз ин рӯ ҳосилнокӣ паст, раванд душвор аст ва саноатикунонии он душвор аст.
4. Идоракунии фишори баланди таппончаи электронӣ
Шиддати таппончаи электронӣ 6 ~ 30 кВ ва шиддати таъсири тараф дар қисмати корӣ 0.5 ~ 3 кВ аст, ки ба кори баландшиддат тааллуқ дорад ва хатарҳои муайяни бехатарӣ дорад.
——Ин мақола аз ҷониби Guangdong Zhenhua Technology нашр шудааст.истеҳсолкунандаи мошинҳои пӯшонидани оптикӣ.
Вақти нашр: 12 майи соли 2023