Nā hiʻohiʻona maʻamau o ka ʻenehana hoʻoheheʻe ion i hoʻonui ʻia

1. He haʻahaʻa ke ʻano o ka mea hana

Ma muli o ka hoʻohui ʻana o kahi mea e hoʻonui ai i ka nui o ka ionization, ua hoʻonui ʻia ka nui o ka hoʻokuʻu ʻana i kēia manawa, a ua hoʻemi ʻia ka uila bias i 0.5 ~ 1kV.

Hoʻemi ʻia ka backsputtering ma muli o ka pahū nui ʻana o nā ion ikehu kiʻekiʻe a me ka hopena pōʻino ma ka ʻili mea hana.

2. Hoʻonui i ka nui plasma

Ua hoʻohui ʻia nā ʻano hana like ʻole e hāpai i ka ionization collision, a ua piʻi ka nui o ka ionization metala mai 3% a ʻoi aku ma mua o 15%.Hoʻonui ʻia ka mānoanoa o nā ion chin a me nā ʻātoma kūʻokoʻa kiʻekiʻe o ka ikehu, nā ion nitrogen, nā mana ikaika kiʻekiʻe a me nā pūʻulu hana i loko o ke keʻena uhi e hoʻonui ʻia, kahi kūpono i ka hopena e hana i nā pūhui.Ua hiki i nā ʻenehana hoʻokuʻu ion coating i hoʻonui ʻia i luna ke kiʻi i nā papa kiʻi ʻoniʻoni paʻakikī TN ma o ka hoʻoneʻe ʻana i nā kiʻekiʻe plasma kiʻekiʻe, akā no ka mea pili lākou i ke ʻano hoʻokuʻu ʻana, ʻaʻole lawa ka kiʻekiʻe o ka hoʻokuʻu ʻana i kēia manawa (mau mA / cm2 pae. ), a ʻaʻole kiʻekiʻe ke kiʻekiʻe o ka plasma holoʻokoʻa, a paʻakikī ke kaʻina hana o ka hoʻopili ʻana i ka hoʻopili hoʻohuihui.

3. He liʻiliʻi ka laulā uhi o ke kumu evaporation

Hoʻohana ʻia nā ʻenehana hoʻoheheʻe ion i hoʻonui ʻia i nā kumu hoʻoheheʻe electron beam, a me ka gantu ma ke ʻano he kumu hoʻoheheʻe ʻia, i kaupalena ʻia i kahi manawa ma luna o ka gantu no ka hoʻopiʻi ʻana, no laila ua haʻahaʻa ka huahana, paʻakikī ke kaʻina hana, a paʻakikī hoʻi i ka hana ʻana.

4. 'Oihana pu kiʻekiʻe

ʻO 6 ~ 30kV ka uila pu electron, a ʻo ka volta bias mea hana he 0.5 ~ 3kV, nona ka hana kiʻekiʻe a loaʻa kekahi mau pōʻino palekana.

——Ua hoʻokuʻu ʻia kēia ʻatikala e Guangdong Zhenhua Technology, aka mea hana i nā mīkini hoʻopili optical.