Nā hiʻohiʻona maʻamau o ka ʻenehana uhi ion hoʻokuʻu ʻālohilohi i hoʻonui ʻia

1. Haʻahaʻa ka manaʻo o ka workpiece

Ma muli o ka hoʻohui ʻia ʻana o kahi hāmeʻa e hoʻonui i ka helu ionization, ua hoʻonui ʻia ka nui o ke au hoʻokuʻu, a ua hoʻemi ʻia ka volta bias i 0.5 ~ 1kV.

Ua hoʻemi ʻia ka backsputtering i hoʻokumu ʻia e ka hoʻouka nui ʻana o nā ions ikehu kiʻekiʻe a me ka hopena hōʻino ma ka ʻili o ka workpiece.

2. Hoʻonui ʻia ka nui o ka plasma

Ua hoʻohui ʻia nā ʻano hana like ʻole e hoʻolaha i ka collision ionization, a ua piʻi ka nui o ka metala ionization mai 3% a ʻoi aku ma mua o 15%. Ua hoʻonui ʻia ka nui o nā ion chin a me nā ʻātoma neutral ikehu kiʻekiʻe, nā ion nitrogen, nā ʻātoma hana ikehu kiʻekiʻe a me nā hui hana i loko o ke keʻena uhi, kahi mea e kūpono ai i ka hopena e hana i nā hui. Ua hiki i nā ʻenehana uhi ion hoʻokuʻu glow i hoʻonui ʻia i luna ke loaʻa nā papa kiʻiʻoniʻoni paʻakikī TN ma o ka waiho ʻana o ka hopena ma nā densities plasma kiʻekiʻe, akā no ka mea no lākou ke ʻano hoʻokuʻu glow, ʻaʻole lawa ka nui o ke au hoʻokuʻu (ʻo ia nō ka pae mA/cm2), a ʻaʻole lawa ka nui o ka plasma holoʻokoʻa, a he paʻakikī ke kaʻina hana o ka uhi hui waiho hopena.

3. He liʻiliʻi ka laulā uhi o ke kumu hoʻoheheʻe kiko

Hoʻohana nā ʻenehana uhi ion i hoʻonui ʻia i nā kumu hoʻoheheʻe kukuna electron, a me ka gantu ma ke ʻano he kumu hoʻoheheʻe kiko, i kaupalena ʻia i kahi manawa ma luna o ka gantu no ka waiho ʻana o ka hopena, no laila haʻahaʻa ka huahana, paʻakikī ke kaʻina hana, a paʻakikī hoʻi ka ʻoihana.

4. Hana kaomi kiʻekiʻe o ka pū uila

ʻO ke anakahi uila o ka pū uila he 6 ~ 30kV, a ʻo ke anakahi uila o ka hana hana he 0.5 ~ 3kV, nona ka hana uila kiʻekiʻe a he mau pōʻino palekana kekahi.

——Ua hoʻokuʻu ʻia kēia ʻatikala e Guangdong Zhenhua Technology, hemea hana o nā mīkini uhi optical.