1. Эшкәртмә кисәгенә карата авышлык түбән
Ионлашу тизлеген арттыру өчен җайланма өстәлү сәбәпле, разряд тогы тыгызлыгы арта, һәм көчәнеш 0,5 ~ 1 кВ кадәр кими.
Югары энергияле ионнарны артык бомбага тоту нәтиҗәсендә килеп чыккан кире сиптерү һәм эш кисәге өслегенә зыян китерү кими.
2. Плазма тыгызлыгы арту
Бәрелеш ионизациясен стимуллаштыру өчен төрле чаралар өстәлде, һәм металл ионизациясе тизлеге 3% тан 15% тан артыкка кадәр артты. Каплау камерасында чин ионнары һәм югары энергияле нейтраль атомнар, азот ионнары, югары энергияле актив атомнар һәм актив төркемнәрнең тыгызлыгы арта, бу кушылмалар барлыкка китерү реакциясенә уңай йогынты ясый. Югарыда күрсәтелгән төрле яхшыртылган ялтыравыклы разряд ион каплау технологияләре югарырак плазма тыгызлыгында реакция урнаштыру юлы белән TN каты пленка катламнарын алырга мөмкинлек бирде, ләкин алар ялтыравыклы разряд тибына караганлыктан, разряд агымы тыгызлыгы җитәрлек югары түгел (һәрхәлдә мА/см2 дәрәҗәсе), һәм гомуми плазма тыгызлыгы җитәрлек югары түгел, һәм реакция урнаштыру кушылмасын каплау процессы авыр.
3. Нокталы парга әйләнү чыганагының каплау диапазоны кечкенә
Төрле көчәйтелгән ион каплау технологияләре электрон нурлы парга әйләнү чыганакларын, ә гантуны нокталы парга әйләнү чыганагы буларак кулланалар, ул реакция урнаштыру өчен гантудан югарырак билгеле бер интервал белән чикләнгән, шуңа күрә җитештерүчәнлек түбән, процесс катлаулы һәм аны сәнәгатьләштерү кыен.
4. Электрон пистолетның югары басымлы эшләве
Электрон пистолетның көчәнеше 6 ~ 30 кВ, ә эш кисәгенең көчәнеше 0,5 ~ 3 кВ, бу югары көчәнешле эшкә карый һәм билгеле бер куркынычсызлык куркынычларына ия.
——Бу мәкалә Гуандун Чжэньхуа Технологиясе тарафыннан бастырылган,оптик каплау машиналары җитештерүчесе.
Бастырылган вакыты: 2023 елның 12 мае