1. Odchylenie przedmiotu obrabianego jest niskie
Dzięki dodaniu urządzenia zwiększającego szybkość jonizacji gęstość prądu rozładowania ulega zwiększeniu, a napięcie polaryzacji zmniejsza się do 0,5~1 kV.
Zmniejsza się rozpylanie wsteczne spowodowane nadmiernym bombardowaniem jonami o wysokiej energii, a także uszkodzenia powierzchni przedmiotu obrabianego.
2. Zwiększona gęstość plazmy
Dodano różne środki wspomagające jonizację kolizyjną, a szybkość jonizacji metalu wzrosła z 3% do ponad 15%. Zwiększono gęstość jonów chin i wysokoenergetycznych atomów obojętnych, jonów azotu, wysokoenergetycznych atomów aktywnych i grup aktywnych w komorze powlekania, co sprzyja reakcji tworzenia związków. Wymienione powyżej różne ulepszone technologie powlekania jonami jarzeniowymi pozwoliły na uzyskanie twardych warstw TN poprzez osadzanie reakcyjne przy wyższych gęstościach plazmy. Jednak ze względu na ich przynależność do typu wyładowania jarzeniowego, gęstość prądu wyładowania nie jest wystarczająco wysoka (nadal na poziomie mA/cm²), a całkowita gęstość plazmy nie jest wystarczająco wysoka, co utrudnia proces reakcyjnego osadzania powłok złożonych.
3. Zasięg powłoki źródła parowania punktowego jest niewielki
Różne ulepszone technologie powlekania jonowego wykorzystują źródła odparowywania wiązką elektronów oraz gantu jako punktowe źródło odparowywania, które jest ograniczone do pewnego przedziału powyżej gantu w celu przeprowadzenia reakcji osadzania, przez co wydajność jest niska, proces jest trudny i trudny do uprzemysłowienia.
4. Elektroniczny pistolet wysokociśnieniowy
Napięcie działa elektronowego wynosi 6~30 kV, a napięcie polaryzacji przedmiotu obrabianego wynosi 0,5~3 kV, co jest typowe dla pracy pod wysokim napięciem i stwarza pewne zagrożenia dla bezpieczeństwa.
——Artykuł ten został opublikowany przez Guangdong Zhenhua Technology,producent maszyn do powlekania optycznego.
Czas publikacji: 12 maja 2023 r.