1. Awọn irẹjẹ workpiece jẹ kekere
Nitori afikun ohun elo kan lati mu iwọn ionization pọ si, iwuwo isọjade lọwọlọwọ pọ si, ati foliteji aiṣedeede ti dinku si 0.5 ~ 1kV.
Awọn backsputtering ṣẹlẹ nipasẹ nmu bombardment ti ga-agbara ions ati awọn bibajẹ ipa lori workpiece dada ti wa ni dinku.
2. Alekun pilasima iwuwo
Awọn ọna oriṣiriṣi lati ṣe igbelaruge ionization ijamba ni a ti ṣafikun, ati iwọn ionization irin ti pọ lati 3% si diẹ sii ju 15%.Awọn iwuwo ti awọn ions chin ati awọn ọta didoju agbara-giga, awọn ions nitrogen, awọn ọta ti nṣiṣe lọwọ agbara-giga ati awọn ẹgbẹ ti nṣiṣe lọwọ ninu iyẹwu ti a bo ti pọ si, eyiti o jẹ ki iṣesi lati dagba awọn agbo ogun.Awọn imọ-ẹrọ iṣipopada didan didan didan ti o wa loke ti ni anfani lati gba awọn ipele fiimu lile TN nipasẹ ifisilẹ ifakalẹ ni awọn iwuwo pilasima ti o ga julọ, ṣugbọn nitori wọn jẹ ti iru itusilẹ didan, iwuwo idasilẹ lọwọlọwọ ko ga to (sibẹ ipele mA / cm2 ), ati iwuwo pilasima gbogbogbo ko ga to, ati ilana ti ifasilẹ ifasilẹ ifaworanhan ti o nira.
3. Iwọn ti a bo ti orisun evaporation ojuami jẹ kekere
Awọn imọ-ẹrọ ti o ni ilọsiwaju ion ti o ni ilọsiwaju lo awọn orisun evaporation elekitironi, ati gantu gẹgẹbi orisun evaporation aaye kan, eyiti o ni opin si aarin kan loke gantu fun ifisilẹ ifasẹyin, nitorinaa iṣelọpọ jẹ kekere, ilana naa nira, ati pe o nira lati ṣe iṣelọpọ.
4. Itanna ibon ti o ga-titẹ isẹ
Foliteji ibon elekitironi jẹ 6 ~ 30kV, ati foliteji irẹwẹsi iṣẹ-iṣẹ jẹ 0.5 ~ 3kV, eyiti o jẹ ti iṣẹ-giga foliteji ati pe o ni awọn eewu ailewu kan.
——Nkan yii jẹ idasilẹ nipasẹ imọ-ẹrọ Guangdong Zhenhua, aolupese ti opitika ti a bo ero.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Karun-12-2023