1. Ìrísí iṣẹ́ náà kéré gan-an
Nítorí pé a fi ẹ̀rọ kan kún un láti mú kí ìwọ̀n ionization pọ̀ sí i, ìwọ̀n ìtújáde omi náà pọ̀ sí i, a sì dín foliteji onípele kù sí 0.5~1kV.
A ti dinku ipadanu ẹhin ti o fa nipasẹ fifọ awọn ions agbara giga pupọ ati ipa ibajẹ lori dada iṣẹ naa.
2. Ìwọ̀n plasma tó pọ̀ sí i
A ti fi ọpọlọpọ awọn igbese lati ṣe igbelaruge ionisẹpọ ikọlu kun, ati oṣuwọn ionisẹpọ irin ti pọ si lati 3% si diẹ sii ju 15%. Iwọn iwuwo ti awọn ioni agbọn ati awọn atomu alailera giga, awọn ioni nitrogen, awọn atomu ti nṣiṣe lọwọ agbara giga ati awọn ẹgbẹ ti nṣiṣe lọwọ ninu yara ti a bo pọ si, eyiti o ṣe iranlọwọ fun ihuwasi lati ṣẹda awọn agbo. Awọn imọ-ẹrọ ti a ṣe afikun ti ionisẹpọ glow ti o wa loke ti ni anfani lati gba awọn fẹlẹfẹlẹ fiimu lile TN nipasẹ ifipamọ reaction ni awọn iwuwo pilasima ti o ga julọ, ṣugbọn nitori pe wọn jẹ ti iru itusilẹ glow, iwuwo lọwọlọwọ itusilẹ ko ga to (iwọn mA/cm2 sibẹ), ati pe iwuwo pilasima gbogbogbo ko ga to, ati ilana ti fifi awọpọ reaction deposition jẹ nira.
3. Iwọ̀n ìbòrí tí orísun ìtújáde ojú ìwé náà kéré.
Onírúurú ìmọ̀ ẹ̀rọ ìbòrí ion tó ti mú gbòòrò síi lo àwọn orísun ìtújáde ìtànṣán èékánná, àti gantu gẹ́gẹ́ bí orísun ìtújáde point, èyí tí a fi àlà sí àkókò kan pàtó lókè gantu fún ìtújáde ìhùwàsí, nítorí náà iṣẹ́ àṣeyọrí náà kéré, iṣẹ́ náà ṣòro, ó sì ṣòro láti ṣe ilé-iṣẹ́.
4. Iṣẹ́ ìfúnpá gíga ti ibon itanna
Fóltéènì ibọn elekitironi jẹ́ 6 ~ 30kV, àti pé fóltéènì ìbáradọ́gba iṣẹ́ náà jẹ́ 0.5 ~ 3kV, èyí tí ó jẹ́ ti iṣẹ́ fóltéènì gíga tí ó sì ní àwọn ewu ààbò kan.
——Gangdong Zhenhua Technology ló gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde,olùpèsè àwọn ẹ̀rọ ìbòrí opitika.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: May-12-2023