Taybetmendiyên hevpar ên teknolojiya pêvekirina îyonê ya ronahiyê ya pêşkeftî

1. Biasê workpiece kêm e

Ji ber lêzêdekirina amûrek ji bo zêdekirina rêjeya ionîzasyonê, tîrêjiya niha ya dakêşanê zêde dibe, û voltaja biasê digihîje 0,5 ~ 1 kV.

Paqijiya paşverû ya ku ji ber bomberdûmana zêde ya îyonên enerjiya bilind û bandora zirarê ya li ser rûyê perçeya xebatê kêm dibe.

2. Zêdebûna dendika plazmayê

Tedbîrên cihêreng ji bo pêşvebirina ionîzasyona lihevketinê hatine zêdekirin, û rêjeya iyonîzasyona metalê ji% 3 zêde bûye ji 15%.Tîrêjiya îyonên çen û atomên bêalî yên bi enerjiya bilind, îyonên nîtrojenê, atomên çalak ên bi enerjiya bilind û komên çalak ên di jûreya pêlavê de zêde dibe, ku ji bo reaksiyonê ji bo pêkhatina pêkhateyan dibe alîkar.Çend teknolojiyên pêvekirina îyonê ya ronahiyê ya pêşkeftî ya li jor karîbûn bi danana reaksiyonê di dendikên plazmayê yên bilind de, qatên fîlima hişk TN bistînin, lê ji ber ku ew ji celebê vekêşana ronahiyê ne, tîrêjiya niha ya dakêşanê ne têra xwe bilind e (hîn jî asta mA/cm2 ), û tîrêjiya tevayî ya plazmayê ne têra xwe bilind e, û pêvajoya pêvekirina berhevoka dagirtina reaksiyonê dijwar e.

3. Rêjeya kişandina çavkaniya evaporasyona xalê piçûk e

Cûrbecûr teknolojiyên pêvekirina îonê yên pêşkeftî çavkaniyên evaporkirina tîrêjê elektronîkî bikar tînin, û gantu wekî çavkaniyek evaporkirinê ya xalî, ku ji bo veguheztina reaksiyonê bi navberek li jor gantu re sînorkirî ye, ji ber vê yekê hilber kêm e, pêvajo dijwar e, û pîşesazkirina wê dijwar e.

4. Operasyona tansiyona bilind a çeka elektronîkî

Voltaja çeka elektronîkî 6 ~ 30 kV e, û voltaja biasê ya perçeya xebatê 0,5 ~ 3 kV e, ku girêdayî xebata voltaja bilind e û hin xetereyên ewlehiyê hene.

——Ev gotar ji hêla Teknolojiya Guangdong Zhenhua, açêkerên makîneyên xêzkirina optîkî.