1. De voorspanning van het werkstuk is laag
Door de toevoeging van een apparaat om de ionisatiesnelheid te verhogen, wordt de ontladingsstroomdichtheid verhoogd en wordt de voorspanning verlaagd tot 0,5 ~ 1 kV.
Het terugsputteren veroorzaakt door een overmatig bombardement van hoogenergetische ionen en het schade-effect op het werkstukoppervlak worden verminderd.
2. Verhoogde plasmadichtheid
Er zijn diverse maatregelen toegevoegd om botsingsionisatie te bevorderen en het metaalionisatiepercentage is verhoogd van 3% naar meer dan 15%.De dichtheid van chin-ionen en energierijke neutrale atomen, stikstofionen, energierijke actieve atomen en actieve groepen in de coatingkamer wordt verhoogd, wat bevorderlijk is voor de reactie om verbindingen te vormen.De bovengenoemde verschillende verbeterde glimontlading-ioncoatingtechnologieën hebben TN harde filmlagen kunnen verkrijgen door reactiedepositie bij hogere plasmadichtheden, maar omdat ze tot het type glimontlading behoren, is de dichtheid van de ontladingsstroom niet hoog genoeg (nog steeds mA/cm2-niveau ), en de algehele plasmadichtheid is niet hoog genoeg, en het proces van het coaten van reactie-afzettingsverbindingen is moeilijk.
3. Het coatingbereik van de puntverdampingsbron is klein
Verschillende verbeterde ionencoatingtechnologieën gebruiken verdampingsbronnen met elektronenbundels en gantu als een puntverdampingsbron, die beperkt is tot een bepaald interval boven gantu voor reactiedepositie, dus de productiviteit is laag, het proces is moeilijk en het is moeilijk te industrialiseren.
4. Elektronisch pistool met hogedrukbediening
De spanning van het elektronenkanon is 6 ~ 30 kV en de voorspanning van het werkstuk is 0,5 ~ 3 kV, wat hoort bij hoogspanningswerking en bepaalde veiligheidsrisico's met zich meebrengt.
——Dit artikel is uitgebracht door Guangdong Zhenhua Technology, afabrikant van optische coatingmachines.
Posttijd: 12 mei 2023