1. De workpiece bias is leech
Troch de tafoeging fan in apparaat om de ionisaasjefrekwinsje te ferheegjen, wurdt de ûntladingstromdichtheid ferhege, en de biasspanning wurdt fermindere nei 0,5 ~ 1kV.
De backsputtering feroarsake troch oermjittich bombardemint fan hege-enerzjy-ionen en de skea effekt op it workpiece oerflak wurde fermindere.
2. Ferhege plasma tichtens
Ferskate maatregels om botsingionisaasje te befoarderjen binne tafoege, en it metaalionisaasjenivo is ferhege fan 3% nei mear as 15%.De tichtens fan kin-ionen en hege-enerzjy neutrale atomen, stikstof-ionen, hege-enerzjy aktive atomen en aktive groepen yn 'e coating keamer wurdt ferhege, dat is befoarderlik foar de reaksje te foarmjen ferbiningen.De boppesteande ferskate ferbettere glow-ûntladings-ion-coatingtechnologyen binne yn steat west om TN-hurde filmlagen te krijen troch reaksjeôfsetting by hegere plasma-tichtens, mar om't se hearre ta it type gloei-ûntlading, is de ûntladingstromdichtheid net heech genôch (noch mA/cm2-nivo) ), en de totale plasma tichtens is net heech genôch, en it proses fan reaksje deposition compound coating is dreech.
3. It coating berik fan de punt evaporaasje boarne is lyts
Ferskate ferbettere ion coating technologyen brûke elektron beam ferdamping boarnen, en gantu as punt evaporation boarne, dat is beheind ta in bepaald ynterval boppe gantu foar reaksje deposition, sadat de produktiviteit is leech, it proses is dreech, en it is dreech om te yndustrialisearjen.
4. Elektroanyske gun hege-druk operaasje
De spanning fan it elektroanengewear is 6 ~ 30kV, en de spanning fan it wurkstik is 0,5 ~ 3kV, dy't heart ta heechspanningsoperaasje en hat bepaalde feiligens gefaren.
——Dit artikel waard frijlitten troch Guangdong Zhenhua Technology, afabrikant fan optyske coating masines.
Post tiid: mei-12-2023