السمات المشتركة لتقنية طلاء الأيونات المحسّنة بتفريغ التوهج

1. انحراف قطعة العمل منخفض

بسبب إضافة جهاز لزيادة معدل التأين، تزداد كثافة تيار التفريغ، وينخفض ​​جهد الانحياز إلى 0.5 ~ 1 كيلو فولت.

يتم تقليل التناثر العكسي الناتج عن القصف المفرط للأيونات عالية الطاقة وتأثير الضرر على سطح قطعة العمل.

2. زيادة كثافة البلازما

أُضيفت تدابير متنوعة لتعزيز التأين التصادمي، وارتفع معدل تأين المعدن من 3% إلى أكثر من 15%. كما زادت كثافة أيونات الكربون والذرات المتعادلة عالية الطاقة، وأيونات النيتروجين، والذرات النشطة عالية الطاقة، والمجموعات النشطة في حجرة الطلاء، مما يُسهم في تفاعل تكوين المركبات. وقد تمكنت تقنيات طلاء الأيونات المحسّنة المذكورة أعلاه، والمُعتمدة على التفريغ المتوهج، من الحصول على طبقات أغشية صلبة من نيتريد التيتانيوم عن طريق الترسيب التفاعلي عند كثافات بلازما عالية، ولكن نظرًا لكونها من نوع التفريغ المتوهج، فإن كثافة تيار التفريغ لا تزال منخفضة (في حدود مللي أمبير/سم²)، وكثافة البلازما الإجمالية منخفضة أيضًا، مما يجعل عملية طلاء المركبات بالترسيب التفاعلي صعبة.

3. نطاق طلاء مصدر التبخر النقطي صغير

تستخدم العديد من تقنيات الطلاء الأيوني المحسّن مصادر تبخير حزمة الإلكترون، و gantu كمصدر تبخير نقطي، وهو ما يقتصر على فاصل زمني معين فوق gantu لترسيب التفاعل، لذلك تكون الإنتاجية منخفضة، والعملية صعبة، ومن الصعب تطبيقها صناعياً.

4. تشغيل المسدس الإلكتروني بضغط عالٍ

يبلغ جهد مدفع الإلكترون 6 ~ 30 كيلو فولت، ويبلغ جهد انحياز قطعة العمل 0.5 ~ 3 كيلو فولت، وهو ما ينتمي إلى التشغيل عالي الجهد وله مخاطر أمان معينة.

——تم نشر هذا المقال بواسطة شركة قوانغدونغ تشنهوا للتكنولوجيا، وهي شركةشركة مصنعة لآلات الطلاء البصري.