1. Ish qismining moyilligi past
Ionlanish tezligini oshirish uchun qurilma qo'shilishi tufayli zaryadsizlanish oqimining zichligi oshadi va yon kuchlanish 0,5 ~ 1 kV gacha kamayadi.
Yuqori energiyali ionlarning haddan tashqari bombardimon qilinishi natijasida yuzaga keladigan orqaga qaytish chayqalishi va ish qismi yuzasiga yetkazilgan zarar kamayadi.
2. Plazma zichligining ortishi
To'qnashuv ionlashuvini rag'batlantirish uchun turli choralar qo'shildi va metall ionlanish darajasi 3% dan 15% dan oshdi. Qoplama kamerasida chin ionlari va yuqori energiyali neytral atomlar, azot ionlari, yuqori energiyali faol atomlar va faol guruhlarning zichligi oshdi, bu esa birikmalar hosil qilish reaksiyasiga yordam beradi. Yuqoridagi turli xil kuchaytirilgan porlash razryadi ion qoplama texnologiyalari yuqori plazma zichligida reaksiya cho'ktirish orqali TN qattiq plyonka qatlamlarini olishga muvaffaq bo'ldi, ammo ular porlash razryadi turiga tegishli bo'lgani uchun razryad oqimi zichligi yetarlicha yuqori emas (hali ham mA/sm2 darajasi) va umumiy plazma zichligi yetarlicha yuqori emas va reaksiya cho'ktirish birikmasini qoplash jarayoni qiyin.
3. Nuqtali bug'lanish manbasining qoplama diapazoni kichik
Turli xil kuchaytirilgan ion qoplama texnologiyalari elektron nurlari bug'lanish manbalaridan va gantu nuqta bug'lanish manbai sifatida foydalanadi, bu reaksiya cho'kishi uchun gantu ustidagi ma'lum bir oraliq bilan cheklangan, shuning uchun unumdorlik past, jarayon qiyin va uni sanoatlashtirish qiyin.
4. Elektron qurolning yuqori bosimli ishlashi
Elektron qurolning kuchlanishi 6 ~ 30 kV, ish qismining yon kuchlanishi esa 0,5 ~ 3 kV, bu yuqori kuchlanishli ishlarga tegishli va ma'lum xavfsizlik xavflariga ega.
——Ushbu maqola Guangdong Zhenhua Technology tomonidan nashr etilganoptik qoplama mashinalari ishlab chiqaruvchisi.
Nashr vaqti: 2023-yil 12-may