Таҷҳизот технологияи бухоршавии шуоъи электрониро истифода мебарад. Электронҳо аз риштаи катод ҷудо шуда, ба ҷараёни муайяни шуоъ равона карда мешаванд, ки аз ҷониби потенсиали байни катод ва тигель барои об шудан ва бухор шудани маводи рӯйпӯш суръат мегирад. Он дорои хусусиятҳои зичии баланди энергия буда, метавонад маводи рӯйпӯшро бо нуқтаи обшавии зиёда аз 3000 ℃ бухор кунад. Плёнка дорои покии баланд ва самаранокии баланди гармӣ мебошад.
Таҷҳизот бо манбаи бухоршавии шуои электронӣ, манбаи ион, системаи назорати ғафсии плёнка, сохтори ислоҳи ғафсии плёнка ва системаи устувори гардиши қисмати корӣ бо чатр муҷаҳҳаз шудааст. Тавассути пӯшиши бо ёрии манбаи ион, зичии плёнка зиёд мешавад, нишондиҳандаи шикаст устувор карда мешавад ва падидаи тағйири дарозии мавҷ аз сабаби намӣ пешгирӣ карда мешавад. Системаи назорати пурраи автоматии ғафсии плёнка дар вақти воқеӣ метавонад такроршавандагӣ ва устувории равандро таъмин кунад. Он бо функсияи худобшавии муҷаҳҳаз шудааст, то вобастагӣ аз малакаҳои операторро кам кунад.
Ин таҷҳизот барои оксидҳои гуногун ва маводҳои пӯшиши металлӣ мувофиқ аст ва метавонад бо плёнкаҳои оптикии дақиқи бисёрқабата, ба монанди плёнкаи AR, гузариши мавҷи дароз, гузариши мавҷи кӯтоҳ, плёнкаи равшанкунанда, плёнкаи AS / AF, IRCUT, системаи плёнкаи ранга, системаи плёнкаи градиентӣ ва ғайра пӯшонида шавад. Он дар айнакҳои AR, линзаҳои оптикӣ, камераҳо, линзаҳои оптикӣ, филтрҳо, саноати нимноқилҳо ва ғайра васеъ истифода шудааст.