GX600

Таҷҳизот сохтори амудии дари пеши ва тарҳбандии кластерро қабул мекунад. Он метавонад бо манбаъҳои бухоршавӣ барои металлҳо ва маводҳои гуногуни органикӣ муҷаҳҳаз карда шавад ва метавонад вафли кремнийи хусусиятҳои гуногунро бухор кунад. Бо системаи ҳамоҳангсозии дақиқ муҷаҳҳаз шудааст, рӯйпӯш устувор аст ва рӯйпӯш қобилияти такрории хуб дорад.
Таҷҳизоти пӯшиши GX600 метавонад маводҳои органикии рӯшноӣ ё маводи металлиро дар рӯи замин дақиқ, баробар ва ба таври идорашаванда бухор кунад. Он бартариҳои ташаккули оддии филм, тозагии баланд ва паймоннокии баланд дорад. Системаи пурраи худкори ғафсии филм дар вақти воқеӣ метавонад такроршавандагӣ ва устувории равандро таъмин кунад. Он бо функсияи обшавии худ муҷаҳҳаз шудааст, то вобастагӣ аз малакаҳои операторро коҳиш диҳад.
Таҷҳизот метавонад ба Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti ва дигар маводи металлӣ татбиқ карда шавад ва метавонад бо филми металлӣ, филми қабати диэлектрикӣ, филми IMD ва ғайра пӯшонида шавад.