Alat-alat ieu nganggo téknologi penguapan sinar éléktron. Éléktron dipancarkeun tina filamén katoda sareng difokuskeun kana arus sinar anu tangtu, anu digancangkeun ku poténsial antara katoda sareng wadah pikeun ngalemberehkeun sareng nguapkeun bahan palapis. Éta ngagaduhan ciri kapadetan énergi anu luhur sareng tiasa nguapkeun bahan palapis kalayan titik lebur langkung ti 3000 ℃. Pilem ieu ngagaduhan kamurnian anu luhur sareng efisiensi termal anu luhur.
Alat-alat ieu dilengkepan ku sumber penguapan sinar éléktron, sumber ion, sistem pangawasan ketebalan pilem, struktur koreksi ketebalan pilem, sareng sistem rotasi benda kerja payung anu stabil. Ngaliwatan palapis anu dibantuan ku sumber ion, kakompakan pilem ningkat, indéks bias distabilkeun, sareng fenomena parobahan panjang gelombang kusabab kalembaban dihindari. Sistem pangawasan ketebalan pilem otomatis pinuh sacara real-time tiasa mastikeun pangulangan sareng stabilitas prosés. Éta dilengkepan ku fungsi lebur sorangan pikeun ngirangan gumantungna kana kaahlian operator.
Alat ieu tiasa dianggo pikeun rupa-rupa oksida sareng bahan palapis logam, sareng tiasa dilapis ku pilem optik presisi multi-lapisan, sapertos pilem AR, long wave pass, short wave pass, brightening film, AS / AF film, IRCUT, sistem pilem warna, sistem pilem gradien, jsb. Ieu parantos seueur dianggo dina kacamata AR, lensa optik, kaméra, lensa optik, filter, industri semikonduktor, jsb.