Karakteristikat e përbashkëta të teknologjisë së veshjes së joneve me shkarkim të shkëlqimit të përmirësuar

1. Paragjykimi i pjesës së punës është i ulët

Për shkak të shtimit të një pajisjeje për të rritur shkallën e jonizimit, dendësia e rrymës së shkarkimit rritet dhe tensioni i polarizimit zvogëlohet në 0.5~1kV.

Spërkatja e kundërt e shkaktuar nga bombardimi i tepërt i joneve me energji të lartë dhe efekti i dëmtimit në sipërfaqen e copës së punës zvogëlohen.

2. Rritja e dendësisë së plazmës

Janë shtuar masa të ndryshme për të nxitur jonizimin nga përplasja, dhe shkalla e jonizimit të metaleve është rritur nga 3% në më shumë se 15%. Dendësia e joneve të chin dhe atomeve neutrale me energji të lartë, joneve të azotit, atomeve aktive me energji të lartë dhe grupeve aktive në dhomën e veshjes është rritur, gjë që është e favorshme për reagimin për të formuar komponime. Teknologjitë e ndryshme të veshjes së joneve me shkarkim të shkëlqimit të përmirësuar të mësipërme kanë qenë në gjendje të marrin shtresa të filmit të fortë TN me anë të depozitimit të reaksionit në dendësi më të larta të plazmës, por për shkak se ato i përkasin llojit të shkarkimit të shkëlqimit, dendësia e rrymës së shkarkimit nuk është mjaftueshëm e lartë (ende niveli mA/cm2), dhe dendësia e përgjithshme e plazmës nuk është mjaftueshëm e lartë, dhe procesi i veshjes së përbërjes së depozitimit të reaksionit është i vështirë.

3. Diapazoni i veshjes së burimit të avullimit të pikës është i vogël

Teknologji të ndryshme të veshjes me jon të përmirësuar përdorin burime avullimi me rreze elektronike dhe gantu si burim avullimi pikësor, i cili është i kufizuar në një interval të caktuar mbi gantu për depozitimin e reaksionit, kështu që produktiviteti është i ulët, procesi është i vështirë dhe është i vështirë për t'u industrializuar.

4. Funksionim me presion të lartë të armës elektronike

Tensioni i pistoletës elektronike është 6~30kV, dhe tensioni i polarizimit të pjesës së punës është 0.5~3kV, i cili i përket funksionimit me tension të lartë dhe ka rreziqe të caktuara për sigurinë.

——Ky artikull u publikua nga Guangdong Zhenhua Technology, njëprodhues i makinave të veshjes optike.