Pajisja përdor strukturë vertikale të derës së përparme dhe planimetri të grumbullimit. Mund të pajiset me burime avullimi për metale dhe materiale të ndryshme organike, dhe mund të avullojë pllaka silikoni me specifikime të ndryshme. E pajisur me sistem shtrirjeje precize, veshja është e qëndrueshme dhe veshja ka përsëritshmëri të mirë.
Pajisjet e veshjes GX600 mund të avullojnë me saktësi, në mënyrë të barabartë dhe të kontrollueshme materiale organike që lëshojnë dritë ose materiale metalike mbi substrat. Ato kanë avantazhet e formimit të thjeshtë të filmit, pastërtisë së lartë dhe kompaktësisë së lartë. Sistemi i monitorimit të trashësisë së filmit në kohë reale plotësisht automatik mund të sigurojë përsëritshmërinë dhe stabilitetin e procesit. Ato janë të pajisura me funksion vetëshkrirjeje për të zvogëluar varësinë nga aftësitë e operatorit.
Pajisjet mund të aplikohen në Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti dhe materiale të tjera metalike, dhe mund të veshen me film metalik, film me shtresë dielektrike, film IMD, etj. Përdoret kryesisht në industrinë e gjysmëpërçuesve, siç janë pajisjet e energjisë, veshja e substratit të paketimit të pasmë të gjysmëpërçuesve, etj.
| GX600 | GX900 |
| φ600*800(mm) | φ900*H1050(mm) |