GX600

Оборудование имеет вертикальную конструкцию передней двери и кластерную компоновку. Оно может быть оснащено источниками испарения для металлов и различных органических материалов, а также может испарять кремниевые пластины различных спецификаций. Оснащено прецизионной системой выравнивания, покрытие стабильно и имеет хорошую повторяемость.
Оборудование для нанесения покрытий GX600 может точно, равномерно и контролируемо испарять органические светоизлучающие материалы или металлические материалы на подложку. Оно имеет такие преимущества, как простое формирование пленки, высокая чистота и высокая компактность. Полностью автоматическая система контроля толщины пленки в реальном времени может обеспечить повторяемость и стабильность процесса. Оно оснащено функцией самоплавления, чтобы уменьшить зависимость от навыков оператора.
Оборудование может применяться для Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti и других металлических материалов, а также может покрываться металлической пленкой, диэлектрической слоистой пленкой, пленкой IMD и т. д. Оно в основном используется в полупроводниковой промышленности, например, в силовых приборах, для покрытия подложки задней крышки полупроводников и т. д.