GX600

Sprzęt przyjmuje pionową strukturę przednich drzwi i układ klastra. Może być wyposażony w źródła parowania dla metali i różnych materiałów organicznych oraz może odparowywać wafle krzemowe o różnych specyfikacjach. Wyposażony w precyzyjny system wyrównywania, powłoka jest stabilna, a powłoka ma dobrą powtarzalność.
Urządzenie do powlekania GX600 może dokładnie, równomiernie i kontrolowanie odparowywać organiczne materiały emitujące światło lub materiały metalowe na podłoże. Ma zalety prostego tworzenia filmu, wysokiej czystości i wysokiej zwartości. W pełni automatyczny system monitorowania grubości filmu w czasie rzeczywistym może zapewnić powtarzalność i stabilność procesu. Jest wyposażony w funkcję samotopienia, aby zmniejszyć zależność od umiejętności operatora.
Sprzęt może być stosowany do Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti i innych materiałów metalowych i może być powlekany folią metalową, warstwą dielektryczną, folią IMD itp. Jest on głównie stosowany w przemyśle półprzewodnikowym, na przykład do urządzeń mocy, powlekania podłoży tylnych obudów półprzewodników itp.