De apparatuur maakt gebruik van elektronenbundelverdampingstechnologie. Elektronen worden vanuit de kathodefilament uitgezonden en gefocusseerd tot een bepaalde bundelstroom. Deze stroom wordt versneld door het potentiaalverschil tussen de kathode en de smeltkroes, waardoor het coatingmateriaal smelt en verdampt. De technologie kenmerkt zich door een hoge energiedichtheid en maakt het mogelijk om coatingmateriaal met een smeltpunt van meer dan 3000 ℃ te verdampen. De resulterende film heeft een hoge zuiverheid en een hoog thermisch rendement.
De apparatuur is uitgerust met een elektronenbundelverdampingsbron, een ionenbron, een systeem voor het bewaken van de filmdikte, een structuur voor het corrigeren van de filmdikte en een stabiel systeem voor het roteren van het parapluwerkstuk. Door de ionenbronondersteunde coating wordt de compactheid van de film verhoogd, de brekingsindex gestabiliseerd en wordt het verschijnsel van golflengteverschuiving als gevolg van vocht voorkomen. Het volledig automatische realtime bewakingssysteem voor de filmdikte garandeert de herhaalbaarheid en stabiliteit van het proces. Het is voorzien van een zelfsmeltfunctie om de afhankelijkheid van de vaardigheden van de operator te verminderen.
De apparatuur is geschikt voor diverse oxiden en metaalcoatingmaterialen en kan worden voorzien van meerlaagse precisie-optische films, zoals AR-film, lange golfdoorlaatfilm, korte golfdoorlaatfilm, ophelderingsfilm, AS/AF-film, IRCUT, kleurenfilmsystemen, gradiëntfilmsystemen, enz. Het wordt veelvuldig gebruikt in AR-brillen, optische lenzen, camera's, optische lenzen, filters, de halfgeleiderindustrie, enz.