GX600

De apparatuur maakt gebruik van een verticale voordeurstructuur en een clusteropstelling. Het kan worden uitgerust met verdampingsbronnen voor metalen en diverse organische materialen, en kan siliciumwafers van verschillende specificaties verdampen. Uitgerust met een precisie-uitlijnsysteem is de coating stabiel en heeft deze een goede herhaalbaarheid.
De GX600-coatingapparatuur kan nauwkeurig, gelijkmatig en gecontroleerd organische lichtgevende materialen of metalen materialen op het substraat verdampen. De voordelen zijn eenvoudige filmvorming, hoge zuiverheid en hoge compactheid. Het volautomatische realtime controlesysteem voor de filmdikte garandeert de herhaalbaarheid en stabiliteit van het proces. De apparatuur is uitgerust met een zelfsmeltfunctie om de afhankelijkheid van de vaardigheden van de operator te verminderen.
De apparatuur kan worden toegepast op Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti en andere metalen materialen en kan worden gecoat met metaalfilm, diëlektrische laagfilm, IMD-film, enz. Het wordt voornamelijk gebruikt in de halfgeleiderindustrie, zoals vermogensapparaten, coating van halfgeleiderachterverpakkingssubstraten, enz.