Peralatan ini menggunakan teknologi penyejatan pancaran elektron. Elektron dipancarkan dari filamen katod dan difokuskan ke dalam arus pancaran tertentu, yang dipercepatkan oleh potensi antara katod dan mangkuk pijar untuk mencairkan dan menyejatkan bahan salutan. Ia mempunyai ciri-ciri ketumpatan tenaga yang tinggi dan boleh menyejatkan bahan salutan dengan takat lebur lebih daripada 3000 ℃. Filem ini mempunyai ketulenan yang tinggi dan kecekapan terma yang tinggi.
Peralatan ini dilengkapi dengan sumber penyejatan pancaran elektron, sumber ion, sistem pemantauan ketebalan filem, struktur pembetulan ketebalan filem dan sistem putaran benda kerja payung yang stabil. Melalui salutan berbantukan sumber ion, kekompakan filem meningkat, indeks biasan distabilkan, dan fenomena anjakan panjang gelombang akibat kelembapan dapat dielakkan. Sistem pemantauan masa nyata ketebalan filem automatik penuh dapat memastikan kebolehulangan dan kestabilan proses. Ia dilengkapi dengan fungsi pencairan sendiri untuk mengurangkan pergantungan pada kemahiran pengendali.
Peralatan ini boleh digunakan untuk pelbagai oksida dan bahan salutan logam, dan boleh disalut dengan filem optik ketepatan berbilang lapisan, seperti filem AR, hantaran gelombang panjang, hantaran gelombang pendek, filem pencerah, filem AS / AF, IRCUT, sistem filem warna, sistem filem kecerunan, dan sebagainya. Ia telah digunakan secara meluas dalam cermin mata AR, kanta optik, kamera, kanta optik, penapis, industri semikonduktor, dan sebagainya.